ACE600-Leica徠卡高真空鍍膜儀

Leica EM ACE600是完美的多用途高真空薄膜沉積系統(tǒng),，設(shè)計(jì)來(lái)根據(jù)您的FE-SEM和TEM應(yīng)用的需要生產(chǎn)非常薄的，細(xì)粒度的和導(dǎo)電的金屬和碳涂層,，用于高分辨率分析,。

這種高真空鍍膜機(jī)可以通過(guò)以下方法進(jìn)行配置:濺射、碳絲蒸發(fā),、碳棒蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)和輝光放電。

適用于Leica EM ACE600高真空鍍膜機(jī)的Leica EM VCT真空冷凍傳輸系統(tǒng),，是無(wú)污染的低溫掃描電鏡樣本制備的理想解決方案,。

外觀設(shè)計(jì)：創(chuàng)新設(shè)計(jì)，美觀精致

超高真空：極限真空度2×10-6mbr

樣品尺寸：超大樣品倉(cāng),，均勻噴鍍

雙靶材設(shè)計(jì)：斜坡屋頂式雙靶材設(shè)計(jì),，無(wú)需破真空及可實(shí)現(xiàn)兩種材質(zhì)的交替噴鍍。

ACE600-Leica徠卡高真空鍍膜儀 怎么讓鍍膜顆粒度變??？

真空度：預(yù)抽真空度越高，覆膜顆粒度越小
靶材：熔點(diǎn)溫度越高,，顆粒度越小
鍍膜方式：電子束蒸發(fā)鍍膜優(yōu)于磁控濺射鍍膜
……

拆卸簡(jiǎn)單,，易清洗

可任選離子濺射模式，碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,，碳棒（熱阻）蒸發(fā)模式,，電子束蒸發(fā)模式，雙濺射模式,，濺射-碳絲模式,，濺射-碳棒模式，濺射-電子束模式,，雙電子束模式,。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器，精確控制鍍膜厚度，精度達(dá)0.1nm,。全自動(dòng)電腦控制,，自動(dòng)完成抽真空，鍍膜,，放氣等全過(guò)程,，一鍵操作。