在多晶硅的生產(chǎn)過程中，鹽類廢水處理是一重要的環(huán)節(jié),。

在生產(chǎn)多晶硅的過程中，通常會產(chǎn)生大量的廢氣和殘液,。廢氣中主要含有大量的HCI,、SiHCls、Cl2,、SiCl,、H、N等氣體,，而殘液中主要含有氯化烷和微量硅粉,。
由于氯硅烷極易容易水解，通常采用稀的氫氧化鈉溶液淋洗氯硅烷殘液和氯硅烷氣體,，還有少量的氯化氫,，使氯硅烷和氯化氫全部水解中和，生成氯化鈉和硅膠的混合物,。硅膠在經(jīng)過攪拌機(jī)攪拌后通過渣漿泵被送去壓濾機(jī)進(jìn)行固液分離操作,，濾渣運(yùn)送到渣場統(tǒng)一堆放,。

分離出的硅膠經(jīng)刮板機(jī)刮出后送入污泥收集池,，之后再用潛水式污泥泵將沉底的硅膠打入到攪拌池內(nèi)，經(jīng)攪拌后被送入到壓濾機(jī)在進(jìn)行固液的分離,。
去除掉硅膠的工業(yè)廢水是鹽類廢水,，這些廢水一般呈酸性，酸堿度值大約為2,。

廢水經(jīng)過酸堿中和,，之后經(jīng)蒸發(fā)，結(jié)晶,，過濾把鹽類提取出來,。經(jīng)過處理后的水會返回到生產(chǎn)中循環(huán)使用。

在鹽類廢水處理時(shí)常用薄膜蒸發(fā)器,，三效蒸發(fā)器和四效蒸發(fā)器等設(shè)備用于鹽類的蒸發(fā)濃縮,，利用蒸發(fā)濃縮的原理，將廢水中的水分蒸發(fā)掉,，鹽類中NaCl顆粒結(jié)晶析出,，在經(jīng)過過濾操作使廢水和NaCl分離。蒸發(fā)出來的水蒸氣外排掉或者經(jīng)過冷凝回流到生產(chǎn)裝置中實(shí)現(xiàn)循環(huán)利用,。