半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)全球性的巨大行業(yè)，每年都在持續(xù)增長(zhǎng),，這意味著對(duì)高純度氣體的需求將隨之增長(zhǎng),。

擁有可靠的高純度氣體供應(yīng)對(duì)于半導(dǎo)體制造至關(guān)重要，尤其是在智能手機(jī)和自動(dòng)駕駛汽車等先進(jìn)技術(shù)方面,。

生產(chǎn)集成電路的過(guò)程很復(fù)雜,，在所有階段都需要 30 多種不同的氣體，這使得使用的氣體范圍成為任何行業(yè)中最泛的氣體之一,。

氣體是半導(dǎo)體制造的重要組成部分,，因?yàn)闅怏w可以產(chǎn)生塑造半導(dǎo)體電氣特性所需的化學(xué)反應(yīng)。由于其復(fù)雜性,，在制造過(guò)程的每個(gè)階段使用的氣體都需要精確和準(zhǔn)確,，以正確配置半導(dǎo)體。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展和發(fā)展,，工藝中使用的氣體也在不斷發(fā)展,。使用的一些核心氣體包括氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣和氫氣,，我們將深入探討它們?cè)谥圃爝^(guò)程中的作用。氮

由于其可用性和惰性,，氮?dú)馐前雽?dǎo)體制造過(guò)程中各個(gè)步驟中使用的核心氣體,，但它的主要用途是在吹掃階段。在此階段,，氮?dú)庥糜跊_洗每個(gè)通道和管網(wǎng),，以去除機(jī)器和工具中的任何氧氣，從而使它們免受可能污染過(guò)程的其他氣體的影響,。

此外,，由于在整個(gè)過(guò)程中大量使用氮?dú)猓蠖鄶?shù)半導(dǎo)體工廠都在現(xiàn)場(chǎng)配備了氮?dú)獍l(fā)生器,。更重要的是,，隨著高科技智能手機(jī)和其他技術(shù)的生產(chǎn)，在努力滿足高需求的同時(shí)保持低成本變得勢(shì)在必行,。

您可以說(shuō)氮?dú)馐构ぞ?、空間和管道遠(yuǎn)何潛在的水分、化學(xué)污染物和顆粒。它是一種氣體,，從開始到結(jié)束的整個(gè)過(guò)程都在使用,，這也難怪他們?yōu)槭裁匆诂F(xiàn)場(chǎng)安裝發(fā)電機(jī)。

氧

如您所知,，氧氣是一種氧化劑,，因此它對(duì)于產(chǎn)生沉積反應(yīng)至關(guān)重要。它用于生長(zhǎng)用于工藝中各種元素的氧化硅層,，例如擴(kuò)散掩模,。

當(dāng)使用氧氣進(jìn)行半導(dǎo)體制造時(shí)，氣體必須是超高純度的,，以防止任何雜質(zhì)影響器件的生產(chǎn)和性能,。

在蝕刻過(guò)程中，氧氣也用于去除產(chǎn)生的任何額外材料廢料,。它也可以用來(lái)使任何蝕刻圖案久化,。

最后，氧氣還有助于通過(guò)可能改變產(chǎn)品質(zhì)量的氧化反應(yīng)中和反應(yīng)性氣體,。因此,，與氮?dú)忸愃疲鯕庖灿兄诖_保不會(huì)發(fā)生任何污染,。

氬氣

氬氣主要用于紫外光刻激光器內(nèi)的沉積和蝕刻過(guò)程,，用于在半導(dǎo)體芯片上制作最小的圖案。

在制造所需的硅晶片期間,，氬氣用于保護(hù)在晶片上形成的硅晶體在高溫生長(zhǎng)過(guò)程中不會(huì)與氧和氮發(fā)生任何潛在的反應(yīng),。

因?yàn)闅鍤庖彩且环N非常惰性的氣體，它用于為金屬濺射沉積提供非反應(yīng)性環(huán)境,。有時(shí)氮的反應(yīng)性太強(qiáng),，會(huì)導(dǎo)致金屬氮化物的形成。

此外,，液態(tài)氬與工具一起用于清潔最小,、最易碎的芯片,。

氫

由于更高的需求,，氫在半導(dǎo)體制造中的使用可能會(huì)增加。特別是在光刻階段,，氫氣用于與化學(xué)錫反應(yīng),，產(chǎn)生氫化錫。需要?dú)浠a,，以免它積聚在昂貴的光學(xué)元件上,。

它在沉積過(guò)程中用于硅和硅鍺的外延沉積，也用于通過(guò)退火工藝制備表面。

氫氣用于創(chuàng)建新的氧化層以修改已經(jīng)存在的薄膜,。這個(gè)過(guò)程發(fā)生在高壓和高溫環(huán)境中,，這意味著對(duì)流速、溫度和壓力的控制非常重要,。

此外,，氫也用于摻雜階段以幫助控制分解，因?yàn)橛糜谠撨^(guò)程的氣體具有,。如此之多,，以至于需要將它們存儲(chǔ)在可防止泄漏的設(shè)備中。

也是摻雜過(guò)程中使用的一種化學(xué)物質(zhì),，但由于熱不穩(wěn)定,，它會(huì)慢慢分解，因此需要?dú)鋪?lái)幫助穩(wěn)定它,。

日常生活中的半導(dǎo)體

半導(dǎo)體用于各種日常設(shè)備,，如計(jì)算機(jī)、智能手機(jī),、電視,，還用于先進(jìn)技術(shù)，如醫(yī)療設(shè)備和許多其他應(yīng)用,。

它們是我們?nèi)粘Ｉ畹囊徊糠?，我們沒有注意到，因?yàn)樗鼈兇嬖谟谖覀兠刻焓褂玫脑O(shè)備中,。如果沒有半導(dǎo)體,，我們將無(wú)法做很多事情，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,，它們變得更可靠,、更智能、更緊湊,。

從通訊,、交通和娛樂，這些只是半導(dǎo)體為我們所做的一小部分,。它們將為未來(lái)的技術(shù)和創(chuàng)新提供動(dòng)力,，使我們能夠做我們從未想象過(guò)的事情。