SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI模塊化結構

時間：2023/7/18閱讀：876

德國SIOS專業(yè)從事高精度測量儀器的開發(fā)和制造,，于1991年成立,。從一開始，SIOS和研究所之間就進行了緊密的科學技術合作,。這為開發(fā)和制造精密測量技術的創(chuàng)新產(chǎn)品奠定了基礎,，尤其是在激光干涉儀領域。今天,，過程測量和傳感器技術研究所與SIOS之間的合作仍在繼續(xù),，以使雙方都受益。

SIOS公司始于“Technologie- undGründerzentrumIlmenau"（技術和形成中心）,，并于1993年搬入了“ Am Vogelherd"商業(yè)園區(qū)的自有建筑物,。該公司仍位于該園中，盡管該建筑在近幾年中已進行了多次擴建,。該公司與伊爾默瑙技術大學及其在伊爾默瑙技術區(qū)的聯(lián)系緊密,，為業(yè)務奠定了堅實的背景，并確保了未來成功的技術進步。如今,，SIOS已成為全球性企業(yè),。代表處分布在將近30個重要的工業(yè)國家中，大約50％的銷售額來自海外,。

SIOS主要產(chǎn)品：

長度測量系統(tǒng)

激光干涉儀,、差分激光干涉儀

長度和角度測量系統(tǒng)

雙光束干涉儀、三光束干涉儀

校準系統(tǒng)

校準激光干涉儀,、緊湊型校準激光干涉儀,、激光干涉儀、帶有角錐反射鏡的激光干涉儀

納米定位和納米測量機

激光振動計

測量探頭

測量和校準系統(tǒng)

穩(wěn)定的氦氖激光器

氣候測量站

主要型號：

SP-NG Series,、SP 15000 C5,、SP 5000 TR、NMM-1,、SP-S Series,、NA Series、LM Series,、LM 20,、PT Series、Model SL 02,、Model SL 04,、SP 5000 DI、SP 5000 DI/F

我們的超穩(wěn)定差分激光干涉儀 SP 5000 DI 具有的熱穩(wěn)定性,，可用于研發(fā)中的長期測量,，例如 B. 在材料測試中使用。由于具有參考光束的結構,，測量系統(tǒng)可以放置在距測量點更遠的位置,，而不會顯著影響測量的分辨率和穩(wěn)定性。干涉儀的長度分辨率為 5 pm,，由于相同光束長度下測量系統(tǒng)的差分原理，在正常實驗室條件下也可以實現(xiàn),。如果使用傾斜不變反射器進行測量,，則長度測量的測量范圍為幾米。該系統(tǒng)具有模塊化結構,，因此可以適應測量任務,。調整可以很容易地進行并且具有長期穩(wěn)定性?；?SP 5000 DI 干涉儀的多軸系統(tǒng)結構也支持多坐標測量,。

角度測量范圍

帶反射器：±12.5°

帶平面鏡（建議距離≤2m）：±1.5弧分

光束距離（標準）：21 mm

波長：632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性（預熱時間之后）：2·10-8

HeNe激光器的預熱時間：10 ... 20 min

工作溫度范圍：15 ... 30°C

測量反射鏡的位移速度：max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長度：3 m,，max.10 m

電源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸（長x寬x高）

傳感器頭（帶基板）：150 x 140 x 43 mm

電子供應和評估單元（標準）：450 x 400 x 150 mm

電子供應和評估單元（緊湊）：250 x 400 x 150 mm

重量

感測頭：2.0 kg

底盤：1.5 kg

SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI模塊化結構

性能特點

技術參數(shù)

詳細參數(shù)

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