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介紹ATOVAC節(jié)流閥控制器APC200

時間：2022/7/7閱讀：1186
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APC200是GPC3000的升級版,，壓力流量控制器基本為電容壓力計供電（±15VDC）,，接收并顯示來自電容壓力計的壓力信號，連接節(jié)流閥,，通過PID或自整定功能控制壓力. 它是一個控制裝置,。其中，如果使用自整定功能,，則通過檢測流入腔室的氣體量、泵速,、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來獲取壓力控制因素,。如果用戶使用此功能來控制壓力，可以更快地達到所需壓力,。內(nèi)置兩個過程限位繼電器,，幫助用戶設(shè)備過程。

性能特點

  • APC200 有一個PCB 卡,，可以選擇至多連接4 個MFC，每個PCB 包含2 個通道（連接2 個MFC）,。

  • APC200 的設(shè)計非常方便且易于通過本地（前面板）、I/O 或 RS-232 / RS-485 遠程控制,。

技術(shù)參數(shù)

  • 壓力輸入信號：標準：0-10 VDC

  • 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC,，50/60 赫茲

  • 控制器重復(fù)性：±0.1% FS

  • 環(huán)境操作溫度：150℃ - 450℃

  • 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培

  • 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%,，F(xiàn)S 壓力

  • 尺寸：1/2-機架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D

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