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機臺型號：OKSUN-PM17A 

整機規(guī)格：2000(W)×1500(D)×1960(H)  mm

電極規(guī)格：17層平板式電極板（944W×790 D mm  (28W ×24D in)）

電源系統(tǒng)：10KW等離子體發(fā)生源（40KHz,，可選13.56MHz）

控制系統(tǒng)：PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制

進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2,、N2,、H2、CF4,、

特 點：高精度,，快響應，良好的操控性和兼容性,，完善的功能和專業(yè)的技術支持

用 途：適用于印制線路板行業(yè),，半導體IC領域，硅膠,、塑膠,、聚合體領域，汽車電子行業(yè),，航空工業(yè)等,。

1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化,，多層板表面清潔,、去鉆污，軟板,、軟硬結(jié)合板表面清潔,、去鉆污，軟板補強前活化,。

2,、半導體IC領域：COB、COG,、COF,、ACF工藝，用于打線,、焊接前的清洗

3,、硅膠、塑膠,、聚合體領域：硅膠,、塑膠、聚合體的表面粗化,、刻蝕,、活化