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現(xiàn)在制備超純水的方法是將各種純化水的新技術(shù)科學(xué)地結(jié)合起來，不僅能生產(chǎn)超純水,，而且變得非常容易,。目前市售的 超純水機(jī) 就是一個(gè)成功的例子。自來水進(jìn)去超純水出來,，非常方便,。而且使用壽命也越來越長。

超純水機(jī)制備超純水的原理和步驟大體如下：
1,、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水,。
2、機(jī)械過濾：通過砂芯濾板和纖維柱濾除機(jī)械雜質(zhì),，如鐵銹和其他懸浮物等,。
3、活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑,，可吸附氣體成分,，如水中的余氯等；吸附細(xì)菌和某些過渡金屬等,。**能損害反滲透膜,，因此應(yīng)力求除盡。
4,、反滲透膜過濾：可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物,，包括膠體微粒和病毒等,。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長,。
5,、紫外線消解：借助于短波（180nm-254nm）紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機(jī)化合物，如甲醇,、乙醇等,，使其轉(zhuǎn)變成CO2和水，以降低TOC的指標(biāo),。