產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
硅片超聲波清洗機(jī)概述:
該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā),、CAV生產(chǎn)前的清洗處理,。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序為純水清洗,、膽堿清洗,、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗,。其工藝性能指標(biāo)及可靠性*達(dá)到進(jìn)口同類設(shè)備水平,,但價格、售后服務(wù),、備品備件的供給等是進(jìn)口設(shè)備*的,。
硅片超聲波清洗機(jī)主要特點:
采用進(jìn)口PP板制作。
適用2-6寸硅片清洗,。
超聲功率強(qiáng)勁,,性能穩(wěn)定。
超聲波清洗原理:
由超聲波發(fā)生器所發(fā)出的高頻超聲振蕩信號,,通過換能器轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)振蕩而傳播到介質(zhì)—清洗溶劑中,,利用超聲波在清洗溶劑中的“空化作用”,使液體流動而產(chǎn)生數(shù)以萬計的小氣泡,,這些氣泡在超聲波縱向傳播成的負(fù)壓區(qū)形成,、生長,而在正壓區(qū)迅速破裂,,就是在這種被稱為“空化”效應(yīng)的過程中氣泡破裂產(chǎn)生超過1000個大氣壓的瞬間高壓,,連續(xù)不斷產(chǎn)生的瞬間高壓產(chǎn)生一串小“爆炸”不斷地沖擊被清洗物體的表面,孔隙,、縫道,,使物體表面及縫隙中的污垢迅速剝落,從而達(dá)到被清洗物件凈化的目的,。因此利用超聲波清洗質(zhì)量好,、速度快。對一般常規(guī)清洗方法,,可達(dá)到清潔度要求,尤其對幾何形狀比較復(fù)雜,,帶有各種小孔,,彎孔和盲孔等被清洗物件,采用超聲波清洗的潔凈效果更為明顯,。