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Metrology Sensors GmbH開發(fā)和制造尖duan技術(shù),，以提高顯微鏡自動(dòng)化和AOI系統(tǒng)的吞吐量和質(zhì)量。MSG的解決方案包括用于2D和3D表面的高速自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng),、尺寸測(cè)量傳感器,、電機(jī)控制和光電組件。MSG的技術(shù)應(yīng)用于各種行業(yè),，包括半導(dǎo)體,、晶圓和電子產(chǎn)品的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)、顯示檢測(cè)和修復(fù)系統(tǒng)以及生物醫(yī)學(xué)視覺系統(tǒng),。

MSG為其發(fā)揮的關(guān)鍵作用感到自豪,，無論是在基礎(chǔ)研究、提高生產(chǎn)效率還是通過直接向最終用戶提供解決方案進(jìn)行質(zhì)量檢查,，還是為OEM供應(yīng)商提供嵌入式技術(shù),。

德國(guó)MSG傳感器、伺服驅(qū)動(dòng)器,、控制器◆自動(dòng)對(duì)焦傳感器: 基于激光的焦點(diǎn)跟蹤系統(tǒng)

LAF傳感器旨在實(shí)現(xiàn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備和工業(yè)顯微鏡的實(shí)時(shí)焦點(diǎn)跟蹤,。該傳感器廣泛用于平板顯示器,、電子器件和半導(dǎo)體的AOI系統(tǒng)

我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)以下焦點(diǎn)跟蹤：

無圖案表面

具有高對(duì)比度變化的圖案表面

具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)

獨(dú)te功能：

混合激光/圖像跟蹤

三明治基板的多表面聚焦

自動(dòng)設(shè)置

參考型號(hào): LAF4、LAF5,、LAF5-CH

◇LAF5直線激光自動(dòng)聚焦跟蹤系統(tǒng)：

用于自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)（AOI）系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動(dòng)聚焦和跟蹤

傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上

適用于放大倍率為2倍至100倍的無限校正透鏡,，可見光、近紅外,、NUV,、DUV

UI界面和軟件庫(kù)

德國(guó)MSG傳感器、伺服驅(qū)動(dòng)器,、控制器◆電機(jī)驅(qū)動(dòng)器接口：

為了能夠?qū)?span>MSG的自動(dòng)對(duì)焦傳感器快速簡(jiǎn)單地集成到現(xiàn)有的機(jī)器設(shè)計(jì)中，MSG為步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器提供了優(yōu)化的控制,，以實(shí)現(xiàn)最佳性能的閉環(huán)系統(tǒng),。

LAF-C2電機(jī)接口

LAF-C3電機(jī)接口與照明端口

◇LAF-C2用于LAF自動(dòng)聚焦和跟蹤傳感器的步進(jìn)/伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)接口

單個(gè)連接到LAF傳感器，從MSG自動(dòng)對(duì)焦到您的機(jī)器的所有連接都通過LAF-C2

雙向脈沖輸出電流源,，用于驅(qū)動(dòng)步進(jìn)/伺服驅(qū)動(dòng)器的光隔離器

高質(zhì)量聚焦信號(hào)的模擬輸出

可選：

模擬輸出給出距離信號(hào)或

具有未來的可配置速度信號(hào)

固件發(fā)布（控制伺服驅(qū)動(dòng)器）

限位開關(guān)和安全停止的輸入

RS232,，用于與PC進(jìn)行傳感器通信

◇LAF5S-C2：1xLAF5傳感器&1xLAF-C2步進(jìn)/伺服驅(qū)動(dòng)控制器。

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