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光柵尺,，也稱為光柵尺位移傳感器或光柵尺傳感器,，是通過(guò)利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置,。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè),。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,，具有檢測(cè)范圍大,，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn),。例如,，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用,。

光柵尺工作原理

以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上,，形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋”,。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,，以W表示：

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

常見(jiàn)光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的,。當(dāng)使指示光柵上的線紋與標(biāo)尺光柵上的線紋成一角度來(lái)放置兩光柵尺時(shí),，必然會(huì)造成兩光柵尺上的線紋互相交義。在光源的照射下,，交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線紋重疊,，因而遮光面積小，擋光效應(yīng)弱,，光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶,。相反，距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域,，因兩光柵尺不透明的黑色線紋的重疊部分變得越來(lái)越少,，不透明區(qū)域面積逐漸變大，即遮光面積逐漸變大,，使得擋光效應(yīng)變強(qiáng),，只有較少的光線能通過(guò)這個(gè)區(qū)域透過(guò)光柵，使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶,。這些與光柵線紋幾乎垂直,，相間出現(xiàn)的亮、暗帶就是莫爾條紋,。莫爾條紋具有以下性質(zhì)：

（1）當(dāng)用平行光束照射光柵時(shí),，透過(guò)莫爾條紋的光強(qiáng)度分布近似于余弦函數(shù)。

（2）若用W表示莫爾條紋的寬度,，d表示光柵的柵距,，θ表示兩光柵尺線紋的夾角,，則它們之間的幾何關(guān)系為W-d/sin當(dāng)角很小時(shí),，上式可近似寫(xiě)W=d/θ。

若取d=0.01mm,，θ=0.01rad,，則由上式可得W=1mm。這說(shuō)明,，無(wú)需復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)和電子系統(tǒng),，利用光的干涉現(xiàn)象，就能把光柵的柵距轉(zhuǎn)換成放大100倍的莫爾條紋的寬度,。這種放大作用是光柵的一個(gè)重要特點(diǎn),。

（3）由于莫爾條紋是由若干條光柵線紋共同干涉形成的,，所以莫爾條紋對(duì)光柵個(gè)別線紋之間的柵距誤差具有平均效應(yīng)，能消除光柵柵距不均勻所造成的影響,。

（4）莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)相對(duì)應(yīng),。兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距d，莫爾條紋便相應(yīng)移動(dòng)一個(gè)莫爾條紋寬度W,，其方向與兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向垂直,，且當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向改變時(shí)，莫爾條紋移動(dòng)的方向也隨之改變,。

根據(jù)上述莫爾條紋的特性,，假如我們?cè)谀獱枟l紋移動(dòng)的方向上開(kāi)4窗口A，B,，C,，D，且使這4個(gè)窗口兩兩相距1/4莫爾條紋寬度,，即W/4,，由上述討論可知，當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)時(shí),，莫爾條紋隨之移動(dòng),，從4個(gè)觀察窗口A，B,，C,，D可以得到4個(gè)在相位上依次超前或滯后（取決于兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向）1/4周期（即π/2）的近似于余弦函數(shù)的光強(qiáng)度變化過(guò)程，用表示,，見(jiàn)圖4-9（c）,。若采用光敏元件來(lái)檢測(cè)，光敏元件把透過(guò)觀察窗口的光強(qiáng)度變化轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓信號(hào),，設(shè)為,。根據(jù)這4個(gè)電壓信號(hào)，可以檢測(cè)出光柵尺的相對(duì)移動(dòng),。

1,，位移大小的檢測(cè)

由于莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)是相對(duì)應(yīng)的，故通過(guò)檢測(cè)這4個(gè)電壓信號(hào)的變化情況,，便可相應(yīng)地檢測(cè)出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng),。每變化一個(gè)周期，即莫爾條紋每變化一個(gè)周期,，表明兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)了一個(gè)柵距的距離,；若兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)不到一個(gè)柵距，因是余弦函數(shù)，故根據(jù)之值也可以計(jì)算出其相對(duì)移動(dòng)的距離,。

2,，位移方向的檢測(cè)

若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng)，指示光柵沿正方向移動(dòng),，這時(shí),，莫爾條紋相應(yīng)地沿向下的方向移動(dòng)，透過(guò)觀察窗口A和B,，光敏元件檢測(cè)到的光強(qiáng)度變化過(guò)程和及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào)和,，在這種情況下，滯后的相位為/2,；反之,，若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng)，指示光柵沿負(fù)方向移動(dòng),，這時(shí),，莫爾條紋則相應(yīng)地沿向上的方向移動(dòng)，透過(guò)觀察窗口A和B,，光敏元件檢測(cè)到的光強(qiáng)度變化過(guò)程和及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào)和,，在這種情況下，超前的相位為/2,。因此,，根據(jù)和兩信號(hào)相互間的超前和滯后關(guān)系，便可確定出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)方向,。

工作原理：直線光柵尺和旋轉(zhuǎn)編碼器均依據(jù)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的原理來(lái)產(chǎn)生光信號(hào),，這些信號(hào)經(jīng)過(guò)光電器件的轉(zhuǎn)換處理后，用來(lái)檢測(cè)機(jī)械裝置的位移,。

1·刻線玻璃尺（直線光柵尺有效測(cè)量長(zhǎng)度3米以下使用）刻線玻璃盤片（旋轉(zhuǎn)編碼器）

2·刻線鋼帶尺（直線光柵尺有效測(cè)量長(zhǎng)度3米以上使用）

測(cè)量過(guò)程：反饋產(chǎn)品提供的輸出信號(hào)是由光源通過(guò)刻在直線尺或盤片的柵格線后,，再經(jīng)光電轉(zhuǎn)換裝置的處理產(chǎn)生的。讀數(shù)裝置由光源,、刻線玻璃與柵格窗,、以及光電二極管接收裝置組成。反饋產(chǎn)品采用紅外發(fā)光二極管（IRED）作為光源,，這種光源具有安全,、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。

1,，刻線玻璃反饋系統(tǒng)

紅外線光束被光電二極管接收前,，先通過(guò)有刻線軌跡的板與柵格窗，有刻線軌跡的板與柵格窗,，有刻線軌跡的板與柵格窗間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)回產(chǎn)生正弦波形式的光波，這種光波經(jīng)光電二極管接收后,，會(huì)轉(zhuǎn)換成初始的電流正弦波信號(hào),，這些電信號(hào)的周期與柵距是一樣的,。

2·刻線鋼帶反饋系統(tǒng)

工作原理是讓光以反射方式通過(guò)網(wǎng)狀柵格，讀數(shù)系統(tǒng)由一個(gè)LED組成作為刻線鋼帶的光源（衍射光）,。網(wǎng)狀成像裝置和信號(hào)光檢測(cè)元件采用專利技術(shù)設(shè)計(jì),，該裝置能使成像在相同平面，從而大大提高了信號(hào)的精度和可靠性,。

3,，旋轉(zhuǎn)和角度編碼器

旋轉(zhuǎn)和角度編碼器，采用衍射光通過(guò)刻線玻璃光柵盤片,，再經(jīng)過(guò)光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生電信號(hào),。柵距有每轉(zhuǎn)多少線決定

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