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光柵尺,,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置,。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測,。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,,具有檢測范圍大,檢測精度高,,響應(yīng)速度快的特點,。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,,來觀察和跟蹤走刀誤差,,以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,,分為透射光柵和反射光柵,。
光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上,,光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動部件上,,指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,,它由光源,、會聚透鏡、指示光柵,、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成,。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭,、鏡像式讀數(shù)頭,、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭),。
光柵尺的結(jié)構(gòu)原理
光柵尺位移傳感器是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床活動部件上,光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床固定部件上,,指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中,。
下圖所示的就是光柵尺位移傳感器的結(jié)構(gòu)。
常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的,。 (關(guān)于莫爾條紋的原理,,可參考相關(guān)文獻(xiàn)) 簡單的說:光讀頭通過檢測莫爾條紋個數(shù),來“讀取”光柵刻度,,然后再根據(jù)驅(qū)動電路的作用,,計算出光柵尺的位移和速度。相比例如軟件測量的方式,,光柵尺讀數(shù)測量具有更高的精度,。
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