北京中瑞祥旋涂儀的工作原理和應(yīng)用
什么是旋涂儀?
旋涂儀(spincoater)是一種用于制備薄膜的試驗設(shè)備,,常用于半導(dǎo)體,、光電子和生物醫(yī)學等領(lǐng)域的討論中。工作原理
它的工作原理是將液體樣品加在旋轉(zhuǎn)的襯底表面上,,通過離心力使樣品均勻分布在襯底表面,,最后形成一層均勻的薄膜。旋涂儀通常由旋轉(zhuǎn)臺,、掌控系統(tǒng),、噴頭和馬達等構(gòu)成。在操作時,,使用者需要將樣品倒在襯底上,將襯底放在旋轉(zhuǎn)臺上,,然后掌控旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)時間,,使樣品在旋轉(zhuǎn)的同時均勻涂敷在襯底表面上。通常情況下,,旋轉(zhuǎn)速度越高,薄膜的厚度就越薄,。
認真說來,旋治“過離心力將液體樣品均勻地涂敷在旋轉(zhuǎn)的襯底表面上,,形成均4實在來說,,旋涂儀由旋轉(zhuǎn)臺、掌控系統(tǒng)噴頭和馬達等構(gòu)成,復(fù)制全文 聚如下:
將襯底放置在旋轉(zhuǎn)臺上;
啟動旋轉(zhuǎn)臺,,旋轉(zhuǎn)速度通常在幾千轉(zhuǎn)每分鐘到數(shù)萬轉(zhuǎn)每分鐘之間,度越快薄膜厚度越薄:
同時啟動噴頭,將液體樣品均勻地噴灑在旋轉(zhuǎn)的襯底表面上:在確定的旋轉(zhuǎn)時間后停止旋轉(zhuǎn),,將薄膜晾于或進行烘干處理,。
在旋涂過程中,離心力可以使液體樣品快速均勻地分布在村底表上,,從而形成均勻的薄膜,。此外,旋轉(zhuǎn)速度和液體樣品的粘度,、表面力等因素也會影曠形成和厚度,。應(yīng)用領(lǐng)域
E
旋涂儀廣泛應(yīng) 復(fù)制全文·體、光電子和生物醫(yī)學等領(lǐng)域的討論和制中,,實在包含以的: