勻膠機是在速旋轉(zhuǎn)的基片上,,滴注各類膠液,,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度,。
主要用于晶片涂光刻膠,,有自動、手動和半自動三種作方式,。
送片盒中的晶片,,自動送到承片臺上,用真空吸附,,在主軸電機的帶動下旋轉(zhuǎn),,轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動加速度可調(diào),。每道程序的持續(xù)時間,,轉(zhuǎn)速、加速度,、烘烤溫度,、烘烤時間,、預(yù)烘時間等藝參數(shù)均可通過編程控制。
勻膠機有個或多個滴膠系統(tǒng),,可涂不同品種的光刻膠,。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,,出現(xiàn)了滴膠或膠口移動式滴膠,。膠膜厚度般在500-1000nm,同晶片和片與片間的誤差小于±5nm,。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,,并有流量計行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊能,,去掉晶片正反面多余的光刻膠,。
烘烤位,有隧道式遠紅外加熱,,微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等,。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過程在密封的爐子中行,,通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后,,將晶片送入收片盒內(nèi),。
選購巧
從其原理來說,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
真空泵定要無油的
材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說,,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),,因為這種材質(zhì)的成本很低,,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較溫度和壓力下產(chǎn)生變形,。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,,將會導(dǎo)致旋涂時,時時低的顛簸狀態(tài),。自然無法得到好的旋涂效果,。