? 中瑞祥旋涂機 ?的使用原理適用于硅片,,晶片,,玻璃,陶瓷
要是通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力將液態(tài)涂覆材料均勻地涂布在基片上,,并利用溶劑揮發(fā)成膜,。旋涂機通常包括滴膠、高速旋轉(zhuǎn)和干燥三個主要步驟,。
工作原理
旋涂機的工作原理基于離心力和溶劑揮發(fā),。具體步驟如下:
?滴膠?:將光刻膠或其他液態(tài)材料滴注到基片表面,。滴膠量根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定,通常在1-10ml不等?
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?高速旋轉(zhuǎn)?:基片在高速旋轉(zhuǎn)下,,離心力使液態(tài)材料均勻鋪展在基片上。旋轉(zhuǎn)速度一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分之間,,具體速度取決于光刻膠的性能和基片的大小?
1,。
?溶劑揮發(fā)?:在高速旋轉(zhuǎn)過程中,溶劑逐漸揮發(fā),,形成薄膜,。轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間會影響薄膜的厚度和均勻性?
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3。
不同類型旋涂機的應(yīng)用
旋涂機有多種類型,,適用于不同的應(yīng)用場景,。例如, KW-4A型勻膠機 適用于微電子,、半導(dǎo)體,、制版、新能源,、生物材料,、光學(xué)及表面涂覆等工藝。它主要用于溶膠-凝膠實驗中的薄膜制作,,通過設(shè)置不同的轉(zhuǎn)速和時間來控制薄膜的厚度和均勻性?
4,。
旋涂過程中需要注意的問題
在旋涂過程中,需要注意以下幾點:
?邊緣液珠去除?:當(dāng)旋涂粘度高或高沸點的溶劑時,,邊緣液珠會影響薄膜的質(zhì)量,。可以通過兩步法旋涂或使用棉簽吸走邊緣液珠來解決這個問題?
5,。
?薄膜中央孔洞?:旋涂新手可能會遇到薄膜中央出現(xiàn)孔洞的問題,,這通常是因為中央?yún)^(qū)域沒有足夠的材料沉積??梢酝ㄟ^調(diào)整滴膠量和旋轉(zhuǎn)速度來避免這種情況?