真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運動而實現(xiàn)密封的,。驅(qū)使閥桿運動的傳動部件有手動,、手電兩動、氣動三種方式,。手動傳動部件,,以螺紋結構為主,也可以采用平凸輪結構,。圖1和圖2分別為直角式,、直通式真空擋板閥結構示意圖,。手動兩用的傳動部件,由電動機,、蝸輪,、蝸桿組成,并裝有行程開關,。
操作使用
當接通電源后,,電動機按某一方向(如開啟方向)旋轉,通過蝸輪,、蝸桿帶動閥桿向上運動使閥板上升,,當閥上升到一定高度時,行程開關自動切斷電源,,閥桿運動立即停止,,反之亦然。手動時,,松開手輪背帽,,用手按一定方向轉動手輪即可,圖3為GDD型手,、電兩用真空擋板閥外形圖,。
氣動傳動部件以壓縮干燥空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,,推動汽缸活塞上下運動,,帶動閥桿上下運動,使閥板開啟關閉,,從而達到接通或停止氣流的目的,。
直角式真空擋板閥結構
圖1 直角式真空擋板閥結構
1—導向槽;2—導向銷,;3—閥桿,;4—閥蓋;5—密封閥,;6—閥體
直通式真空擋板閥結構
圖2 直通式真空擋板閥結構
1—手輪,;2—銷;3,,9—密封圈,;4—法蘭套;5—波紋管,;6—閥桿,;7—彈簧;8—閥蓋;10—閥體
GDD型手,、電兩用真空擋板閥外形圖
圖3 GDD型手,、電兩用真空擋板閥外形圖
1—手動輪;2—減速器,;3—限位開關,;4—電動機;5—定位座,;6—閥門,;7—絲桿;8—閥蓋
真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種,。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流,。適用壓力范圍:軸封為橡膠時為1.3×10-4~105Pa;軸封為波紋管結構時為1.3×10-5~105Pa,。工作介質(zhì)溫度:-25~80℃(密封件為丁腈橡膠),;-30~150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼,;閥板密封材料丁腈橡膠或氟橡膠,。
超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa,。閥門開啟狀態(tài),,烘烤溫度小于400℃;閥體材料為不銹鋼,;閥板材料為無氧銅,;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管,。這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門無腐蝕的干凈氣體,。不適合用在對金屬有強腐蝕性和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長期使用。
高真空擋板閥由于具有密封可靠,、流導大,、安全性好以及可手控、電控,、氣控等特點,,形式多樣,規(guī)格齊全,,公稱尺寸DN150~1200,,結構合理等,因此,,被廣泛用于大,、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中,如用于真空鍍膜設備,真空熱處理爐,、真空釬焊,、高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備,、空間環(huán)模設備等,。