在過去近100年中,，我們始終致力于提供創(chuàng)新的真空泵和尾氣處理系統(tǒng)的解決方案，應(yīng)用于各種行業(yè),，從實(shí)驗(yàn)室到需求zui多的半導(dǎo)體和工業(yè)行業(yè),，以及新興的太陽能和生物柴油行業(yè)。我們努力降低您的運(yùn)行成本,，提高您的生產(chǎn)效率和產(chǎn)成品質(zhì)量,。我們提供*的制造品質(zhì)和*的服務(wù),，鑰大真空專業(yè)提供 HANBELL中國臺(tái)灣漢鐘PS902螺桿真空泵維修

漢鐘干式真空泵包括中國臺(tái)灣漢鐘干式螺桿式真空泵和中國臺(tái)灣漢鐘干式多級(jí)羅茨真空泵

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 螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色

 漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,，使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題,。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,，壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng),，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD,、Etching等嚴(yán)苛制程,。 泵浦溫度控制精準(zhǔn)。漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦,，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),，同時(shí)改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度,，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命,。

密封馬達(dá)安全性高 PS系列真空泵浦亦全面采用設(shè)計(jì)的水冷罐裝密封馬達(dá),，除了能維持更低的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外，也可*避免制程氣體外漏的風(fēng)險(xiǎn),。

微電腦控制保護(hù)周全 PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,，可同時(shí)監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度,、殼體溫度,、冷卻水流量、氮?dú)饬髁恳约褒X輪箱油位高低,，提供真空泵浦完整的安全性保護(hù),，十分適用于光電、半導(dǎo)體,、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求*之產(chǎn)業(yè),。

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