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CHY-C2數(shù)顯硅片薄膜厚度儀采用機(jī)械接觸式測(cè)量方式,，嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì)，有效保證了測(cè)試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性,。專(zhuān)業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板,、硅片厚度精確測(cè)量，同時(shí)也滿(mǎn)足塑料薄膜,、無(wú)紡布,、銅箔、金屬鍍層,、薄片,、隔膜,、紙張、箔片等材料的厚度測(cè)量,。

數(shù)顯硅片薄膜厚度儀 技術(shù)特征

l 搭載7寸IPS觸控屏,，采用進(jìn)口MEAS差動(dòng)電感式位移傳感器分辨率0.1um.

l 測(cè)試過(guò)程按用戶(hù)設(shè)定程序，測(cè)量頭自動(dòng)升降測(cè)量,，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)打印

l 支持同組數(shù)據(jù)100個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集,，支持500組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/查詢(xún)

l 支持多級(jí)用戶(hù)權(quán)限管理，測(cè)試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢(xún),，可審計(jì)追蹤,。

l 實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果的zuida值、最小值,、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù),，方便用戶(hù)進(jìn)行判斷

l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定，保證測(cè)試的精度和數(shù)據(jù)一致性

l 可選配自動(dòng)進(jìn)樣裝置,，實(shí)現(xiàn)無(wú)人工操作,，系統(tǒng)全自動(dòng)測(cè)量

l 配備USB接口，專(zhuān)業(yè)測(cè)控軟件,、可通過(guò)軟件操控儀器完成各項(xiàng)測(cè)量

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) 該設(shè)備滿(mǎn)足多項(xiàng)國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 6618-2009,、ISO 4593、ISO 534,、ISO 3034,、GB/T 6672、GB/T 451.3,、 GB/T 6547,、ASTM D374、ASTM D1777,、TAPPI T411,、JIS K6250、JIS K6783,、JIS Z1702、 BS 3983,、BS 4817,、GB/T 24218.2

技術(shù)指標(biāo)

測(cè)試范圍 ：0～2 mm（常規(guī)） 0～6 mm（可選）

分辨率 ：0.1 μm

臺(tái)面有效尺寸：340mm*480mm

接觸面積 ：1.77 mm2（標(biāo)配）

測(cè)量頭直徑：1.5mm（標(biāo)配）注：非標(biāo)可定制

電源： AC 220V 50Hz

外形尺寸： 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)

凈重： 35 kg

產(chǎn)品配置：主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊一件,、專(zhuān)業(yè)軟件,、通信電纜、測(cè)量頭