微區(qū)電化學掃描顯微鏡由以下基本部分組成:產(chǎn)生電子束的柱形鏡簡,,電子束與樣品發(fā)生相互作用的樣品室,檢測樣品室所產(chǎn)生信號的探頭,,以及將信號變因像的數(shù)據(jù)處理與顯示系統(tǒng),。
微區(qū)電化學掃描顯微鏡的保養(yǎng)方法:
1.保持儀器操作臺面整潔,不允許身體倚靠,,凍水機等裝置不可放置重物
2.開機時一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度,,關(guān)機至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水
3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關(guān)閉樣品室,確保進樣倉門*關(guān)閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣
4.移動樣品,通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動,,從而移動樣品,,并保證小于較大允許值
5.傾斜樣品,-10°~+45°,,要十分當心,,不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度,,注樣品可傾斜的較大安全角度必須小于允許值,,防止樣品撞傷物鏡極靴
6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺
7.樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出,不作樣品掃描時要關(guān)閉高壓
8.放氣時HT必須處于關(guān)閉狀態(tài),,必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門
9.更換鎢燈絲時,, 等待兩分鐘時間,然后打開電子槍,,用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩,,以免被燙傷
10.電鏡需要手動調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散,,工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等,其他部件不允許調(diào)整
11.每周加兩到三次液氮,,兩次間隔不超過四天,。
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