德國PI小型線性平臺(tái)Q-522

Q-522 Q-Motion®小型線性平臺(tái)小尺寸,、高分辨率,、價(jià)格實(shí)惠的壓電電機(jī)

寬僅22毫米,、高僅10毫米

小位移高達(dá)2納米

安裝無需轉(zhuǎn)接器的Q-622轉(zhuǎn)臺(tái)

采用分辨率高達(dá)1納米的增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量

不帶轉(zhuǎn)接器的XY向安裝

適用于高達(dá)10-6百帕的真空環(huán)境,，還可提供用于真空達(dá)10-9百帕的版本

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器，其保持力相對(duì)較大,，行程幾乎是無限的,。慣性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹,，移動(dòng)轉(zhuǎn)子,。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮,，停留在其位置上,。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí)，驅(qū)動(dòng)直接作用在動(dòng)輪上,，實(shí)現(xiàn)大為10毫米/秒的速度,。

真空和無磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺(tái)都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10-6百帕,。此外,，適用于10-9百帕的超高真空版本也可供貨?？砂葱杼峁┓谴判园姹?/span>

直接測量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本,。分辨率為4納米或1納米，取決于不同版本,。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開關(guān)

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對(duì)準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試

訂購信息

Q-522.000 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為6.5毫米,，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10 -6 百帕

Q-522.00U Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為6.5毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,，推/拉力為1牛,，尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.030 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為6.5毫米，線性編碼器,，分辨率為4納米,，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.040 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為6.5毫米,，線性編碼器,，分辨率為1納米，推/拉力為1牛,，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.04U Q-Motion® 小型線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為6.5毫米,，線性編碼器，分辨率為1納米,，推/拉力為1牛,，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.100 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為13毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.10U Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為13毫米,，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.130 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為13毫米，線性編碼器,，分辨率為4納米,，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.140 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為13毫米,，線性編碼器,，分辨率為1納米，推/拉力為1牛,，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.14U Q-Motion® 小型線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為13毫米,，線性編碼器，分辨率為1納米,，推/拉力為1牛,，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.200 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為26毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,，推/拉力為1牛,，尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.20U Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為26毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,，推/拉力為1牛,，尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.230 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為26毫米，線性編碼器,，分辨率為4納米,，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.240 Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng),，行程為26毫米，線性編碼器,，分辨率為1納米,，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.24U Q-Motion® 小型線性平臺(tái),，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為26毫米,，線性編碼器,，分辨率為1納米，推/拉力為1牛,，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H),，真空兼容至10-9 百帕

德國PI小型線性平臺(tái)Q-522