Physik Instrumente U-521 PILine線性平臺

• 快速精密定位小型負(fù)載：速度達(dá)200毫米/秒，小位移達(dá)0.3微米
• 節(jié)省空間：寬僅35毫米,、高僅15毫米
• 關(guān)機(jī)后自鎖：節(jié)約能量,，減少熱量產(chǎn)生
• 靜音
• 可按需提供定制版本

Physik Instrumente U-521 PILine線性平臺

精密級線性定位平臺

PILine平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用,。關(guān)機(jī)后，自鎖驅(qū)動(dòng)器保持平臺位置的機(jī)械穩(wěn)定,。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生,。蓄電池驅(qū)動(dòng)或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過一個(gè)編碼器和一個(gè)光學(xué)參考開關(guān)測量,，該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運(yùn)動(dòng),。壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)器原理及其電氣操作成本低，可定制,。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置,。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對測量造成影響,。

PILine超聲波壓電電機(jī)

作為PILine超聲波壓電電機(jī)*的一部分,，壓電陶瓷促動(dòng)器上被施加預(yù)載，通過一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子,。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,，壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動(dòng),。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán),；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動(dòng)器上相對于動(dòng)輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動(dòng)器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時(shí)自鎖,。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操縱,、自動(dòng)化、生物科技,、樣本操縱,、樣本定位、有限空間內(nèi)的應(yīng)用,、真空應(yīng)用可達(dá)10^-6百帕（可選）