德國PI   N-565 帶線性編碼器實現(xiàn)高精度

• 超高精度：小位移為2納米，直接測量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
• 長行程：13 毫米,、26 毫米或52 毫米
• 關(guān)機后自鎖：節(jié)約能量,，減少熱量產(chǎn)生
• PiezoWalk®技術(shù)帶來長使用壽命和高可靠性
• 緊湊型設(shè)計：寬為65毫米、高為20毫米

德國PI   N-565 帶線性編碼器實現(xiàn)高精度

• 超高精度：小位移為2納米,，直接測量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
• 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
• 關(guān)機后自鎖：節(jié)約能量,，減少熱量產(chǎn)生
• PiezoWalk®技術(shù)帶來長使用壽命和高可靠性
• 緊湊型設(shè)計：寬為65毫米,、高為20毫米

NEXACT®參考類別線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動器的線性定位器可實現(xiàn)長行程范圍內(nèi)的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承,，可實現(xiàn)高精度,。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起,。PiezoWalk®步進驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨率,、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理,，其還能實現(xiàn)理論上無限的行程,。不同于其他壓電機動化驅(qū)動器原理,，PiezoWalk®步進驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸,，這幾個促動器沿一個動輪步進,。靜止狀態(tài)下，PiezoWalk®步進驅(qū)動器自鎖,，不消耗能量,，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā),，在對測量數(shù)據(jù)進行相應(yīng)處理后,，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。此外,，由于信號周期短,、信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %,。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應(yīng),。

在壓電陶瓷步進驅(qū)動器（NEXACT®、NEXLINE®）技術(shù)領(lǐng)域,，PI擁有以下

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱,、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學或機械部件,、半導體行業(yè)中的精密機械部件,、顯微操縱、顯微鏡,、自動化,、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用,。.