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更新時(shí)間:2019-06-05 13:47:40瀏覽次數(shù):515次
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德國(guó)PI N-565 帶線(xiàn)性編碼器實(shí)現(xiàn)高精度
德國(guó)PI N-565 帶線(xiàn)性編碼器實(shí)現(xiàn)高精度
帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的線(xiàn)性定位器可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)行程范圍內(nèi)的納米級(jí)高精度定位。其配置直接測(cè)量線(xiàn)性編碼器和交叉滾柱軸承,,可實(shí)現(xiàn)高精度,。
PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)結(jié)合在一起,。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級(jí)分辨率,、較大的力和高剛性,而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理,,其還能實(shí)現(xiàn)理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理,,PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響,。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸,這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn),。靜止?fàn)顟B(tài)下,,PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖,不消耗能量,,無(wú)熱量產(chǎn)生,。
高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā),在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后,,可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率,。此外,由于信號(hào)周期短,、信號(hào)質(zhì)量高,,PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號(hào)時(shí)支持方向感應(yīng),。
在壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器(NEXACT®,、NEXLINE®)技術(shù)領(lǐng)域,,PI擁有以下
DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2
樣本操縱、樣本定位,、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件,、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱,、顯微鏡,、自動(dòng)化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用,、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應(yīng)用,。.
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