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關(guān)于濾光片的硬膜和軟膜
軟鍍膜
軟鍍膜是多層薄膜,，由硫化鋅,、冷凍劑,、有時(shí)甚至是銀組成。對(duì)于傳統(tǒng)的干涉濾光片,，鍍膜組件被層壓在一個(gè)垂直的堆棧中,，以提供抵御周圍環(huán)境的保護(hù)，通常是從較大的晶圓上取下,?？紤]到所使用的材料和制造工藝，軟鍍膜易碎,。鍍膜材料經(jīng)常被從濾光片的邊緣移除,，以避免鍍膜因潮濕而退化，并增加鍍膜的使用期限,。
軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設(shè)備,、快速循環(huán)時(shí)間和廉價(jià)的基片來(lái)保持，但是由于密封和環(huán)形組件,，操作成本很高,。
軟鍍膜如果小批量生產(chǎn)，成本較高,，如果產(chǎn)生一定批量的生產(chǎn),，會(huì)大大降低成本。
硬鍍膜
硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過(guò)程制作而成的,，與軟鍍膜相比,，它具有多個(gè)優(yōu)勢(shì)。等離子沉積過(guò)程是用計(jì)算機(jī)嚴(yán)格控制的,，它甚至可以實(shí)現(xiàn)分層,，擁有良好的環(huán)境適應(yīng)性和更好的性能。例如,，作為波長(zhǎng)的一個(gè)函數(shù),，硬鍍膜的透光率不僅更加一致，而且通常高于軟鍍膜的透光率
硬鍍膜在可見(jiàn)光譜和紫外線中具有超過(guò) 90% 的透射率,。另一方面,，軟鍍膜無(wú)法達(dá)到 90% 的透射率，并且性能在紫外線附近顯著下降,。此外,，起始和截止轉(zhuǎn)換還有一些改進(jìn)。軟鍍膜有個(gè)漸進(jìn)的過(guò)渡,，從沒(méi)有透射率過(guò)渡到*透射率,，而硬鍍膜的過(guò)渡更陡.