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巴魯夫直線位移傳感器
基于傳統(tǒng)的位移傳感器校準存在摩擦,、空程等缺陷問題，提出了一種量程為0~3000mm 高精度校準方案,。該方案以激光干涉儀為基準,，直線電機配合氣浮導(dǎo)軌為驅(qū)動單元，創(chuàng)新型光柵實現(xiàn)閉環(huán)控制,，使定位精度在3μm/m量級,。位移傳感器校準時，通過六個自由度的可調(diào)夾具,，使位移傳感器運動方向與標(biāo)準測量方向在同一條直線上，可實現(xiàn)阿貝誤差的大化消除,。尤其針對特殊的浮子式傳感器校準,，通過設(shè)計夾具配合支撐點消除變形的校準方式，解決了測桿在校準過程存在的形變難題,。同時,，校準裝置不確定度的評定和驗證，表明該校準方法可行有效,。
關(guān)鍵詞：大量程,；高精度；位移傳感器,；校準,；浮子式
鑒于此，本文以高精度,、大量程,、自動化為目標(biāo)，采用激光干涉儀作為基準,，直線電機作為驅(qū)動單元,，氣浮導(dǎo)軌作為運動單位,，光柵尺實現(xiàn)閉環(huán)控制方式，自動采集和處理校準數(shù)據(jù),，以實現(xiàn)位移傳感器的自動化校準,。此外，針對浮子式位移傳感器測桿變形問題,，設(shè)計夾具配合支撐點消除變形的校準方式,，其中，夾具由升降V 形組合體,、浮子傳感器磁環(huán)組合體,、滑輪支撐組合體，T 形槽板四部分組成,，可實現(xiàn)六個自由度旋轉(zhuǎn)調(diào)整,。該校準技術(shù)可根據(jù)桿的彎曲情況選擇合適的位置點滑輪支撐組合體，通過后期微調(diào)夾具,，解決浮球式傳感器在校準過程中存在的測桿撓度難題,。
巴魯夫直線位移傳感器
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