研究論文RESEARCH
1 位移傳感器組成原理
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更新時(shí)間:2019-05-28 09:17:54瀏覽次數(shù):219
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巴魯夫直線位移傳感器
位移傳感器是用來(lái)測(cè)量位移,、距離,、位置和應(yīng)變量等長(zhǎng)度尺寸的計(jì)量器具。以浮子式位移傳感器(圖1)為例,,它由電纜,、波導(dǎo)絲、測(cè)桿,、浮子等元器件組成,。位移傳感器輸出主要形式為電信號(hào),如:不同頻率的脈沖
信號(hào),、電壓或電流等模擬量,,也有部分位移傳感器集成了信號(hào)轉(zhuǎn)化功能,直接以數(shù)字方式或其他方式輸出長(zhǎng)度值,。其校準(zhǔn)技術(shù)JJF1305–2011《線位移傳感器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)范中只給出了安裝原則,,卻沒(méi)有給出具體的實(shí)施
方案[4],因此位移傳感器的校準(zhǔn)技術(shù)研究非常必要,。
2 校準(zhǔn)系統(tǒng)的硬件組成
位移傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)硬件主要由激光干涉儀,、光柵尺、校準(zhǔn)臺(tái),、位移驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng),、夾具組件等組成,以激光干涉儀為基準(zhǔn),,以高精度氣浮導(dǎo)軌作為運(yùn)動(dòng)單元,,通過(guò)直線電機(jī)帶動(dòng)氣吸附滑塊在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng),,給出水平運(yùn)動(dòng)方向的標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度量,并配合夾具,,實(shí)現(xiàn)位移傳感器自動(dòng)校準(zhǔn),。
2.1 激光干涉系統(tǒng)
干涉儀光束進(jìn)入線性干涉鏡被分成兩束。一束光被引向裝在分光鏡上的反射鏡,,另一束光則穿過(guò)分光鏡到達(dá)第2 個(gè)反射鏡,,終兩束光都被反射回分光鏡,在此它們重新組合并被導(dǎo)回激光頭產(chǎn)生干涉,。在線性測(cè)量過(guò)程中,一個(gè)光學(xué)組件保持靜止不動(dòng),,另一個(gè)光學(xué)組件沿線性軸移動(dòng),。通過(guò)監(jiān)測(cè)測(cè)量光束和參考光束之間的光路差異的變化,產(chǎn)生定位精度測(cè)量值,。
巴魯夫直線位移傳感器
主營(yíng)德國(guó)進(jìn)口備件:巴魯夫BALLUFF
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