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詳細(xì)介紹
巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器
實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,，通過(guò)采用鐵鈷柵陣式磁敏薄膜的SAW磁場(chǎng)傳感器，成功抑制了鐵鈷材料中的磁滯效應(yīng),，其磁滯誤差僅為鐵鈷薄膜式傳感器的五分之一,，而且，傳感器的靈敏度,、線(xiàn)性度也得到了大幅改善,，如圖2所示。該項(xiàng)研究為高性能磁場(chǎng)檢測(cè)提供了一個(gè)有效途徑,。
* 強(qiáng)磁滯效應(yīng)：鐵磁材料磁化狀態(tài)的變化總是落后于外加磁場(chǎng)的變化，在外磁場(chǎng)撤消后,，材料仍能保持原有的部分磁性,。
* 磁致伸縮效應(yīng)：鐵磁材料在外部磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，材料的尺寸和體積會(huì)發(fā)生變化,。
* ΔE效應(yīng)：鐵磁材料在外部磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí),，自身的楊氏彈性模量（E）也會(huì)發(fā)生變化。
巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器
在當(dāng)今的信息社會(huì)中,，磁場(chǎng)傳感器已成為信息技術(shù)和信息產(chǎn)業(yè)中*的基礎(chǔ)元件,。
目前，人們已研制出利用各種物理,、化學(xué)和生物效應(yīng)的磁場(chǎng)傳感器,，并已在科研、生產(chǎn)和社會(huì)生活的各個(gè)方面得到廣泛應(yīng)用,，承擔(dān)起探究種種信息的任務(wù),。但是多數(shù)的磁場(chǎng)傳感技術(shù)在靈敏度及磁滯誤差等方面仍存在問(wèn)題，阻礙了其實(shí)質(zhì)應(yīng)用,。
將柵陣式鐵鈷（FeCo）磁致伸縮薄膜高磁敏,、低磁滯性與聲表面波的快速響應(yīng)特點(diǎn)相結(jié)合，有可能實(shí)現(xiàn)一種快速、高靈敏,、低遲滯誤差,、穩(wěn)定可靠的新型磁場(chǎng)檢測(cè)方法來(lái)檢測(cè)磁場(chǎng)。
中科院聲學(xué)所超聲技術(shù)中心的王文研究員,、賈雅娜博士等人研究發(fā)現(xiàn),，對(duì)鐵鈷磁致伸縮薄膜進(jìn)行柵陣式設(shè)計(jì)，可以獲得一種新型的快速,、靈敏度高的磁場(chǎng)檢測(cè)方法,，提高磁場(chǎng)傳感器的線(xiàn)性度、*性和穩(wěn)定性,，減小遲滯誤差,，由此改善磁場(chǎng)傳感器的性能。相關(guān)成果已發(fā)表于期刊 AIP advances [1],。