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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器
近年來(lái),，研究人員采用磁致伸縮薄膜作為敏感膜的表面聲波（surface acoustic wave,，簡(jiǎn)稱SAW）傳感器，為設(shè)計(jì)磁場(chǎng)傳感器提供了新方法,。王文的研究小組曾提出一種基于鐵鈷薄膜的SAW器件[2],，用于感測(cè)電流/磁場(chǎng)，根據(jù)理論優(yōu)化獲得的靈敏度高達(dá)8.3 kHz/mT,。然而,，磁致伸縮薄膜中的強(qiáng)磁滯效應(yīng)*帶來(lái)了顯著的滯后誤差，明顯降低了傳感器性能,。
此次,，研究人員將柵陣式圖形設(shè)計(jì)的鐵鈷磁致伸縮敏感膜與表面聲波相結(jié)合進(jìn)行磁場(chǎng)感測(cè)，所提出的傳感器由差分雙延遲線振蕩器構(gòu)成,，
傳感通道上的器件表面利用射頻濺射技術(shù)和套刻工藝沉積鐵鈷薄膜柵陣,，通過(guò)釋放鐵鈷中的內(nèi)部應(yīng)力變化來(lái)有效地抑制磁滯效應(yīng)。參考通道的器件用于通過(guò)差分方法有效減小外圍環(huán)境溫度等影響,。
當(dāng)磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí),，鐵鈷薄膜發(fā)生磁致伸縮效應(yīng)*和ΔE效應(yīng)*,，引起SAW傳播速度的改變，進(jìn)而可以差分振蕩頻率信號(hào)的變化來(lái)表征待測(cè)磁場(chǎng)強(qiáng)度,。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,，通過(guò)采用鐵鈷柵陣式磁敏薄膜的SAW磁場(chǎng)傳感器，成功抑制了鐵鈷材料中的磁滯效應(yīng),，其磁滯誤差僅為鐵鈷薄膜式傳感器的五分之一,，而且，傳感器的靈敏度,、線性度也得到了大幅改善,，如圖2所示。
巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器