光學(xué)微電子凈化工程

光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣,、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度,、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音震動(dòng)及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間,。

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,，目前已是半導(dǎo)體、精密制造,、液晶制造,、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué),、醫(yī)藥,、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施。近幾年來(lái),，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,，如超大型積體電路之研究制造,，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2,、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房,、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公,、值班,、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用,、電氣用房,、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程,，即可達(dá)到凈化目的,。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次,；1000≥30次,。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s,；溫度 冬季＞16℃,；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃,。

溫度45－65％,；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜,；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）,；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％,；照度300LX。

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)

A,、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:

LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢,。

在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間，其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí),。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間,、組裝等無(wú)塵車(chē)間，其潔凈度一般為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí),。

B,、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%,。

(2)新風(fēng)量大,。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多,，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h,。

(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,，需要較大的送風(fēng)量,，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的,，如果是萬(wàn)級(jí),，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),，是≥15次/h)。