潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,，換言之,，即人、機器隔間,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動,、擴散受到氣流的支配。

　　潔凈室系利用HEPA,、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈,。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,，尚有機器等之發(fā)塵源,，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外,。

　　潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人,、機器等的動作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以最&適%當(dāng)的風(fēng)速供應(yīng),，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。

　　另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素,，均一氣流若無法保持,，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面,，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。

　　垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異,；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一，目前一般潔凈室,，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間,。

　　影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備,、人員,、潔凈室組裝材、照明器具等,，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,，亦應(yīng)列入考慮因素。

　　一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,，如此可使作業(yè)人員工作時,，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走,；若分流點配置在制程區(qū)前方,，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低,。

　　潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差,，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,，將使渦流現(xiàn)象減少最&di；組裝材料之選擇是否恰當(dāng),、設(shè)備布局是否完善,，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。