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特種氣體探測(cè)系統(tǒng)
2 生產(chǎn)工藝設(shè)備的自燃性,、易燃性,、劇毒性、毒性,、腐蝕性氣體閥門箱的排風(fēng)管口處,，工藝設(shè)備的排風(fēng)管口處；
3 生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處,；
4 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域,；
6 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性,、易燃性、劇毒性,、毒性,、腐蝕性氣體的環(huán)境。
2 劇毒性,、毒性氣體的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于 50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA),，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)；
3 設(shè)在惰性氣體間的氧氣探測(cè)器,，其一級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)小于19.5%氧氣體積濃度(V/V),，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)小于18%氧氣體積濃度(V/V)；
4 二氧化碳?xì)怏w系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測(cè)器,，其報(bào)警設(shè)定值應(yīng)為5000ppm,。
2 劇毒性,、毒性氣體檢測(cè)報(bào)警采用擴(kuò)散式應(yīng)小于40s,，吸入式應(yīng)小于20s；
3 氧氣檢測(cè)報(bào)警采用擴(kuò)散式應(yīng)小于20s,，吸入式應(yīng)小于15s,。
5.2.1 本條是對(duì)電子工廠中設(shè)置特種氣體探測(cè)器位置的區(qū)域或場(chǎng)所的規(guī)定,，本條第1款一第5款為強(qiáng)制性條款,，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
1~3 自燃性,、易燃性,、劇毒性 、毒性 ,、腐蝕性氣體儲(chǔ)存 ,、分配設(shè)備的排風(fēng)口，因發(fā)生特種氣體泄漏,，可能達(dá)到規(guī)定報(bào)警濃度,，應(yīng)設(shè)氣體探測(cè)器。
4 使用惰性氣體房間應(yīng)設(shè)置氧氣探測(cè)器 ,，主要是因?yàn)槎栊詺怏w泄漏后,，可能使空氣中氧濃度降低到使房間的作業(yè)人員造成窒息，且國(guó)內(nèi)外已有多個(gè)工廠發(fā)生惰性氣體造成人員窒息傷亡事故,。
5 自燃性,、易燃性 、劇毒性,、毒性 ,、腐蝕性氣體儲(chǔ)存、分配間內(nèi)的氣體發(fā)生泄漏,、易積聚處應(yīng)設(shè)氣體探測(cè)器,，主要是因?yàn)闅怏w儲(chǔ)存、分配間的體積相對(duì)于生產(chǎn)區(qū)較小,，發(fā)生泄漏容易聚集,，并達(dá)到報(bào)警的數(shù)字。
《國(guó)際防火規(guī)范》FIC-201 8 第 27 03.13 條(氣體探測(cè)系統(tǒng))也做了規(guī)定,，該條款摘錄如下：
27章 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置
2703.13 氣體探測(cè)系統(tǒng)
符合196節(jié)的氣體探測(cè)系統(tǒng)將用于 HPM 氣體，按照2703.13.1至2703.13.2.2的要求,，氣體和易燃性氣體的生理學(xué)報(bào)警閡值高于可接受允許暴露限制(Permissible Exposure Limit PEL),。
2703.13.1.1 生產(chǎn)區(qū),，使用 HPM氣體的電子生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體偵測(cè)器,。
2703.13.1.2 HPM房間，使用HPM氣體的HPM房間應(yīng)設(shè)置氣體偵測(cè)器,。
2703.13.1.3 氣體柜,，密閉排風(fēng)和氣體房 間。HPM 氣體的氣瓶柜和密閉排風(fēng)環(huán)境,，HPM 氣體未放置在氣瓶柜或密閉排風(fēng)的環(huán)境應(yīng)設(shè)置氣體偵測(cè)器,。
2703.13.1.4 走道，H P M 氣 體穿越由墻,、地面,、頂面構(gòu)成的走道應(yīng)設(shè)置氣體偵測(cè)器。
5.2.2 由于自燃性,、易燃性,、有毒氣體一旦泄漏超過(guò)規(guī)定值，危害性極大,，為此做了本條規(guī)定,，一級(jí)報(bào)警后，即使氣體濃度發(fā)生變化,，報(bào)警仍應(yīng)持續(xù),，只有經(jīng)人工確認(rèn)并采取相應(yīng)的措施后才能停止報(bào)警。
特 種氣體探測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)裝置主要有以下幾種：
(1) 自燃性,、易燃性氣體檢測(cè)采用催化燃燒型檢 測(cè) 裝 置 ,、半導(dǎo)體檢測(cè)裝置、電化學(xué)檢測(cè)裝置,。
(3) 根據(jù)使用場(chǎng)所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴(kuò)散式檢測(cè)裝置,、單點(diǎn)或多點(diǎn)吸人式氣體檢測(cè)裝置,。
5.2.3 為了明確檢測(cè)報(bào)警裝置的工作狀況，防止事故發(fā)生,，本條規(guī)定了自燃性,、易燃性、毒性氣體檢測(cè)裝置報(bào)警設(shè)定值的要求,，本條第1款-第3款為強(qiáng)制性條款，必須嚴(yán)格執(zhí)行,。
1 本款規(guī)定了自燃性 ,、易燃性氣體的一級(jí)報(bào)警和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值,，一級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時(shí),，通過(guò)一次和二次監(jiān)測(cè)報(bào)警,，自動(dòng)關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，關(guān)斷氣源,，防止事態(tài)擴(kuò)大,，采用25%和50%分別作為一級(jí)和二級(jí)報(bào)警值時(shí)行業(yè)內(nèi)的通常做法，既可以判斷氣體泄漏,，泄漏的氣體濃度又不會(huì)引起爆炸,。
2 本款規(guī)定了劇毒性 、毒性氣體的一級(jí)報(bào)警和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值,，目的是在氣體早期泄漏時(shí),，自動(dòng)關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，保護(hù)工作人員的生命安全,，一級(jí),、二級(jí)報(bào)警設(shè)定值也是根據(jù)國(guó)內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗(yàn)規(guī)定的。
3 本款 規(guī) 定 了 惰性氣體間的氧氣探測(cè)器的一級(jí)報(bào)警和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值,，目的是為了防止惰性氣體泄漏導(dǎo)致人員窒息傷亡,，氧氣探測(cè)器一旦報(bào)警，啟動(dòng)應(yīng)急排風(fēng)和自動(dòng)關(guān)閉應(yīng)急切斷閥,，保護(hù)工作人員的生命安全,，一級(jí)、二級(jí)報(bào)警設(shè)定值也是根據(jù)國(guó)內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗(yàn)規(guī)定的,。
4 本款規(guī)定 二 氧 化 碳?xì)怏w系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測(cè)器,，主要是因?yàn)榻陙?lái)，電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導(dǎo)致人員傷亡的情況,，為保護(hù)人員生命安全,，制定本款，目前國(guó)內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為CO
2的報(bào)警值,。美國(guó)消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《壓縮氣體和低溫液體規(guī)范》NFPA 55-2016第A.13.6.2.1條也做了規(guī)定,，美國(guó)政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學(xué)會(huì)(ACGIH)關(guān)于TLVS和BEIS，即化學(xué)物質(zhì),、物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組(TLVS),，CO2的最高允許濃度值一時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)確定為5000ppm，短期數(shù)組(STEL-TLV)為30000ppm,。5.2.5 氣體探測(cè)器的設(shè)置位置是否恰當(dāng)將直接影響到能否及時(shí),、正確報(bào)警,，為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全,、穩(wěn)定運(yùn)行，本條按特種氣體相對(duì)密度的不同,，做出了氣體探測(cè)器的設(shè)置位置不同的規(guī)定,。
5.2.6 本條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行,。規(guī)定在硅烷排風(fēng)管道中設(shè)置氣體探測(cè)器,，設(shè)定報(bào)警值并與硅烷氣源的自動(dòng)切斷閥進(jìn)行聯(lián)鎖，目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報(bào)警,，防止事故產(chǎn)生,。規(guī)定硅烷站設(shè)置環(huán)境氣體探測(cè)器，設(shè)定報(bào)警值但不與硅烷自動(dòng)控制系統(tǒng)聯(lián)鎖,，這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測(cè)器誤報(bào)警導(dǎo)致影響正常生產(chǎn),，綜合考慮安全與生產(chǎn)的關(guān)系后，規(guī)定報(bào)警但不切斷輸送系統(tǒng),，工作人員可在不停產(chǎn)的情況下,，確認(rèn)報(bào)警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報(bào)。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.1.4.1條(排風(fēng)區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控)和11.1.4.2條(排風(fēng)區(qū)域外的監(jiān)控)也做了規(guī)定,，現(xiàn)摘錄如下：
11.1.4.1 排風(fēng)區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控：排風(fēng)區(qū)域應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置,，當(dāng)硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時(shí)，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動(dòng)報(bào)警,。
11.1.4.2 排風(fēng)區(qū)域外的監(jiān)控：排風(fēng)區(qū)域外應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝 置,，當(dāng)硅烷氣體濃度小于或等于5ppm 時(shí)，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動(dòng)報(bào)警,。
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