特種氣體探測系統(tǒng)規(guī)范

時間：2022/8/17閱讀：2785

特種氣體探測系統(tǒng)

5.2.1 儲存,、輸送,、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應設置特種氣體探測裝置：

1 自燃性,、易燃性,、劇毒性、毒性,、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處,；
2 生產(chǎn)工藝設備的自燃性、易燃性,、劇毒性,、毒性,、腐蝕性氣體閥門箱的排風管口處，工藝設備的排風管口處,；
3 生產(chǎn)工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風出管口處,；
4 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域；

5 自燃性,、易燃性,、劇毒性、毒性,、腐蝕性氣體設備間,；

6 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性,、劇毒性,、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境,。

5.2.2 易燃性,、自燃性特種氣體探測系統(tǒng)、有毒氣體檢測裝置應設置一級報警或二級報警,。

5.2.3 自燃性,、易燃性、劇毒性,、毒性氣體,、氧氣檢測裝置報警設定值應符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性氣體的一級報警設定值不應大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值,，二級報警設定值不應大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值,；
2 劇毒性、毒性氣體的一級報警設定值不應大于 50%空氣中有害物質的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA),，二級報警設定值不應大于100%空氣中有害物質的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)；
3 設在惰性氣體間的氧氣探測器,，其一級報警設定值不應小于19.5%氧氣體積濃度(V/V),，二級報警設定值不應小于18%氧氣體積濃度(V/V)；

4 二氧化碳氣體系統(tǒng)宜設二氧化碳氣體探測器,，其報警設定值應為5000ppm,。

5.2.4 自燃性、易燃性,、劇毒性,、毒性氣體、氧氣檢測裝置的檢測報警響應時間應符合下列規(guī)定：

1 自燃性,、易燃性氣體檢測報警采用擴散式應小于20s,，吸入式應小于 15s,；

2 劇毒性、毒性氣體檢測報警采用擴散式應小于40s,，吸入式應小于20s,；

3 氧氣檢測報警采用擴散式應小于20s，吸入式應小于15s,。

5.2.5 當特種氣體相對密度小于或等于0.75時,，特種氣體探測器應同時設置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。當特種氣體相對密度大于0.75 時,，特氣體探測器應設置在釋放源下方離地面0.3m~0. 5m處,。

5.2.6 硅烷排風管道的氣體探測器的報警設定值，應小于或等于50ppm,，并應與硅烷氣源的自動切斷閥聯(lián)鎖,；硅烷站環(huán)境氣體探測器的報警設定值應小于或等于5ppm，環(huán)境氣體探測器報警時,，硅烷控制系統(tǒng)不應自動切斷硅烷輸送管路,。

5.2.7 有機金屬前軀體材料應設置相應的偵測及火災報警裝置，當無對應偵測器時,，應根據(jù)其分解物選擇偵測器,。

條文說明

5.2.1 本條是對電子工廠中設置特種氣體探測器位置的區(qū)域或場所的規(guī)定，本條第1款一第5款為強制性條款,，必須嚴格執(zhí)行,。

1~3 自燃性、易燃性,、劇毒性 ,、毒性、腐蝕性氣體儲存 ,、分配設備的排風口,，因發(fā)生特種氣體泄漏，可能達到規(guī)定報警濃度,，應設氣體探測器,。

4 使用惰性氣體房間應設置氧氣探測器，主要是因為惰性氣體泄漏后,，可能使空氣中氧濃度降低到使房間的作業(yè)人員造成窒息,，且國內(nèi)外已有多個工廠發(fā)生惰性氣體造成人員窒息傷亡事故。

5 自燃性,、易燃性 ,、劇毒性、毒性 ,、腐蝕性氣體儲存,、分配間內(nèi)的氣體發(fā)生泄漏,、易積聚處應設氣體探測器，主要是因為氣體儲存,、分配間的體積相對于生產(chǎn)區(qū)較小,，發(fā)生泄漏容易聚集，并達到報警的數(shù)字,。

6 自燃性 ,、易燃性、劇毒性,、毒性,、腐蝕性氣體的使用場所是指使用以上氣體的工藝設備房間內(nèi)，氣體操作箱等氣體可能發(fā)生泄漏處附近;技術夾層內(nèi)氣體探測器是設置在有閥門箱等可能發(fā)生氣體泄漏,、易積聚的設備內(nèi),。

《國際防火規(guī)范》FIC-201 8 第 27 03.13 條(氣體探測系統(tǒng))也做了規(guī)定，該條款摘錄如下：

27章半導體生產(chǎn)裝置

2703.13 氣體探測系統(tǒng)

符合196節(jié)的氣體探測系統(tǒng)將用于 HPM 氣體,，按照2703.13.1至2703.13.2.2的要求,，氣體和易燃性氣體的生理學報警閡值高于可接受允許暴露限制(Permissible Exposure Limit PEL)。

2703.13.1 氣體偵測器需要布置的地方,。2703.13.1.1至2703.13.1.4 節(jié)規(guī)定了氣體偵測器應布置的區(qū)域,。

2703.13.1.1 生產(chǎn)區(qū)，使用 HPM氣體的電子生產(chǎn)區(qū)域應設置氣體偵測器,。

2703.13.1.2 HPM房間,，使用HPM氣體的HPM房間應設置氣體偵測器。

2703.13.1.3 氣體柜,，密閉排風和氣體房間,。HPM 氣體的氣瓶柜和密閉排風環(huán)境，HPM 氣體未放置在氣瓶柜或密閉排風的環(huán)境應設置氣體偵測器,。

2703.13.1.4 走道,，H P M 氣體穿越由墻、地面,、頂面構成的走道應設置氣體偵測器,。

5.2.2 由于自燃性、易燃性,、有毒氣體一旦泄漏超過規(guī)定值，危害性極大,，為此做了本條規(guī)定,，一級報警后，即使氣體濃度發(fā)生變化,，報警仍應持續(xù),，只有經(jīng)人工確認并采取相應的措施后才能停止報警,。

特種氣體探測系統(tǒng)檢測裝置主要有以下幾種：

(1) 自燃性、易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢測裝置 ,、半導體檢測裝置,、電化學檢測裝置。

(2) 毒性氣體檢測采用電化學檢測裝置,。

(3) 根據(jù)使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式,，正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸人式氣體檢測裝置,。

5.2.3 為了明確檢測報警裝置的工作狀況,，防止事故發(fā)生，本條規(guī)定了自燃性,、易燃性,、毒性氣體檢測裝置報警設定值的要求，本條第1款-第3款為強制性條款,，必須嚴格執(zhí)行,。

1 本款規(guī)定了自燃性、易燃性氣體的一級報警和二級報警設定值,，一級報警設定值不應大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值,，二級報警設定值不應大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時，通過一次和二次監(jiān)測報警,，自動關閉應急切斷閥,，關斷氣源，防止事態(tài)擴大,，采用25%和50%分別作為一級和二級報警值時行業(yè)內(nèi)的通常做法,，既可以判斷氣體泄漏，泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸,。

2 本款規(guī)定了劇毒性 ,、毒性氣體的一級報警和二級報警設定值，目的是在氣體早期泄漏時,，自動關閉應急切斷閥,，保護工作人員的生命安全，一級,、二級報警設定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的,。

3 本款規(guī) 定了惰性氣體間的氧氣探測器的一級報警和二級報警設定值，目的是為了防止惰性氣體泄漏導致人員窒息傷亡,，氧氣探測器一旦報警,，啟動應急排風和自動關閉應急切斷閥，保護工作人員的生命安全,，一級,、二級報警設定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的,。

4 本款規(guī)定二氧化碳氣體系統(tǒng)宜設二氧化碳氣體探測器，主要是因為近年來,，電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導致人員傷亡的情況,，為保護人員生命安全，制定本款,，目前國內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為CO

₂的報警值,。美國消防協(xié)會標準《壓縮氣體和低溫液體規(guī)范》NFPA 55-2016第A.13.6.2.1條也做了規(guī)定，美國政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學會(ACGIH)關于TLV_S和BEI_S,，即化學物質,、物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組(TLV_S)，CO₂的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)確定為5000ppm,，短期數(shù)組(STEL-TLV)為30000ppm,。

5.2.4 本條確定的數(shù)值符合現(xiàn)行國家標準《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計標準》GB 50493中的有關規(guī)定，同時結合半導體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應要求做出檢測報警響應時間規(guī)定,。

5.2.5 氣體探測器的設置位置是否恰當將直接影響到能否及時,、正確報警，為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全,、穩(wěn)定運行,，本條按特種氣體相對密度的不同，做出了氣體探測器的設置位置不同的規(guī)定,。

5.2.6 本條為強制性條文,，必須嚴格執(zhí)行。規(guī)定在硅烷排風管道中設置氣體探測器,，設定報警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進行聯(lián)鎖,，目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報警，防止事故產(chǎn)生,。規(guī)定硅烷站設置環(huán)境氣體探測器,，設定報警值但不與硅烷自動控制系統(tǒng)聯(lián)鎖，這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測器誤報警導致影響正常生產(chǎn),，綜合考慮安全與生產(chǎn)的關系后,，規(guī)定報警但不切斷輸送系統(tǒng)，工作人員可在不停產(chǎn)的情況下,，確認報警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報,。美國國家標準學會標準《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.1.4.1條(排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控)和11.1.4.2條(排風區(qū)域外的監(jiān)控)也做了規(guī)定，現(xiàn)摘錄如下：

11.1.4.1 排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控：排風區(qū)域應設置監(jiān)控裝置,，當硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時,，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。

11.1.4.2 排風區(qū)域外的監(jiān)控：排風區(qū)域外應設置監(jiān)控裝置，當硅烷氣體濃度小于或等于5ppm 時,，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。

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