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萊寶真空計CTR100N真空泵
CERAVAC CTR 100 N
產(chǎn)品號 230300V02,230301V02,230340V02,230302V02,230303V02,230304V02,
230305V02,230306V02,230307V02,230308V02,230309V02
壓強范圍: 1 x 10-1 torr - 1000 torr
接口法蘭: DN 16 ISO-KF
CTR電容薄膜真空規(guī)采用純焊接inconel®變送器,，具有*精度（高達0.12%）和
測量重復(fù)性。CTR真空規(guī)的耐腐蝕能力也使其廣泛適用于嚴(yán)苛環(huán)境和腐蝕性環(huán)境,。
此真空變送器提供四 (4) 位十進制測量范圍,，并基于薄膜與固定電極之間的電容進行測量。不論處理氣體成分如何,，其輸出均相同 – 無需氣體校正系數(shù),。
它的應(yīng)用非常廣泛，可用作獨立設(shè)備或與合適的控制設(shè)備配合使用,。CTR 100 N 變送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模擬輸出信號,。此輸出可連接至外部模擬設(shè)備，獲取壓力讀數(shù),，或進行壓力控制,。此變送器還配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量,。有關(guān)此接口的詳情,，請參閱 RS232 指導(dǎo)手冊 300544665。
傳感器技術(shù)
此變送器通過測量薄金屬膜與圖案化電極之間的電容進行工作,。當(dāng)處理壓力發(fā)生變化時,，薄膜改變其相對于電極的位置，促使電容發(fā)生改變,。電容的變化與壓力的變化成正比,。由于薄膜位置與氣體類型無關(guān)，因此不論氣體成分如何,，變送器都提供相同的輸出信號,。薄膜和傳感器全部由鎳合金構(gòu)成，從而它能夠抵御腐蝕或氧化所造成的損害,。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,，如：半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 一般真空壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 薄膜沉積處理,，例如蒸發(fā),、濺射和化學(xué)氣相沉積 (CVD)。
? 高級材料處理,，例如真空爐和陶瓷燒結(jié),。
? 溶液和油液的真空脫氣。
? 等離子和化學(xué)清洗,。
? 分析儀器,，例如電子顯微鏡、熱分析儀和質(zhì)譜儀,。
萊寶真空計CTR100N真空泵
