EH2600愛德華羅茨泵維修
EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),,仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.01至10 mbar,、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合,。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí),。機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠,。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
功能和優(yōu)勢(shì)
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下,、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性,。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置,。這可提供:
1、安靜的無振動(dòng)運(yùn)行,。
2,、牢靠且防腐蝕。
3,、*的軸封技術(shù),,處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
4、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造,。
5,、經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,,因此可將維護(hù)要求降到低,。6、軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化,,可確保潤(rùn)滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中,。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能,。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒,。7,、動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,,而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的,。
EH2600愛德華羅茨泵維修