iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修

iH1800 干式泵 230V,，60 Hz,，3 相

A59040957

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

iH1800 干式泵 200/208V,，50/60 Hz,，3 相

A59060945

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz,，3 相

A59042908

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz,，3 相

A59042945

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                     502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機(jī)額定功率             7.0 kW

油容量                  1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz,，3 相

A59042946

技術(shù)數(shù)據(jù) 

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                    1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz,，3 相

A59042957

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                    502 kg

極限功率輸入            4.1 kW

電機(jī)額定功率                   7.0 kW

油容量                       1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz,，3 相

A59062945

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機(jī)額定功率              7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值,。

通過增加正常運(yùn)行時(shí)間、減少對環(huán)境的影響以及良好的成本效益,，iXM 低能耗干泵可為您的關(guān)鍵應(yīng)用帶來真正的制程改進(jìn),。

高效的根源機(jī)制可將輸入功率減少多達(dá) 60％,，從而減少對環(huán)境的影響并降低總體使用成本

氣體阻隔技術(shù)和隔熱設(shè)計(jì)方面的改進(jìn)使產(chǎn)品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍

先進(jìn)的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的可靠性，延長真空泵使用壽命,，并降低 CVD 工藝的功耗

緊湊輕巧的設(shè)計(jì),，加上極低的噪聲和振動(dòng)，可提供更多的用途

采用 Xcede 技術(shù),，增強(qiáng)了耐腐蝕性,。

半導(dǎo)體干泵用于重型應(yīng)用的 iXH 系列

iXH 干泵系列為嚴(yán)苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹立了新標(biāo)準(zhǔn),。

寬廣的溫度范圍使您可以對真空設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化,，更大地減少冷凝和電鍍的副產(chǎn)物累積

iXH Mk2 干泵可在嚴(yán)苛的工藝中提供更長的使用壽命，并且可以顯著提高功效

創(chuàng)新的密封技術(shù)可以延長制程壽命并降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)

采用 Xcede 技術(shù),，增強(qiáng)了耐腐蝕性,。

iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修