iH1800 干式泵 380/415V,，50 Hz,，3 相

A59040946

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

功能和優(yōu)勢

優(yōu)化了設(shè)施消耗。

無需預防性維護,。

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理,。

在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性,。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體,。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證,。

整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,，從而降低了總體占地面積

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,，可以按照最高工作標準運行,。通過延長使用壽命,、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積,、降低運行成本,，實現(xiàn)了高的可靠性和性能,。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應(yīng)用

負載鎖

輸送

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH1800愛德華干泵維修，iH1800愛德華真空泵維護保養(yǎng)