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改進(jìn)的Alicat質(zhì)量流量計(jì)和控制器的精度規(guī)范
Alicat的新版質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器擁有的流量精度新水平,。通過改進(jìn)的溫度和壓力補(bǔ)償,，我們的流量測量更能抵抗溫度和壓力變化帶來的影響,。電路板全部重新設(shè)計(jì)，增加了信噪比,，并大大提高了原始傳感器數(shù)據(jù)采樣的分辨率,。這些改進(jìn)使得本就非常出色的Alicat質(zhì)量流量儀表成為市場上的差壓流量測量系統(tǒng)之一。
Alicat設(shè)備現(xiàn)在比以往任何時(shí)候都更加
Alicat質(zhì)量流量儀表的校準(zhǔn)精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.,，兩者以較大者為準(zhǔn)(高精度校準(zhǔn)精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)
而我們老版本的流量儀表,，標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.)，高精度校準(zhǔn)精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.),。
量程比和分辨率規(guī)格從200:1和4位總數(shù)字提高到10000:1和5位總數(shù)字,，并進(jìn)行了補(bǔ)償改進(jìn)，使流量分辨率規(guī)格提高了10倍,。
圖一 Alicat 新老版本精度對比
用一個(gè)Alicat流量設(shè)備替換多個(gè)不同量程熱式MFC
我們的可用量程范圍明顯高于競爭對手,；由于量程范圍限制，在其他熱式流量計(jì)/控制器的系統(tǒng)中可能需要兩臺MFC,，但Alicat只用一臺就可以覆蓋全量程,。例如,，如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之間的氧氣流量，一個(gè)Alicat MFC可以在整個(gè)范圍內(nèi)提供的,、可重復(fù)的控制,。大多數(shù)基于熱式的MFC則需要兩個(gè)或多個(gè)MFC才能完成相同的任務(wù)。我們能為客戶實(shí)現(xiàn)：
- 降低總的硬件成本
- 降低運(yùn)營成本
- 減少備件和庫存資金
- 不再基于單一氣體測量,，內(nèi)置98+預(yù)置氣體,，無需額外校準(zhǔn)，減少備件需要
- 簡化設(shè)置
- 方便隨時(shí)更換
精度的提高意味著工藝的改進(jìn)：
- 氣體混合更,，減少氣體浪費(fèi)
- 研發(fā)實(shí)驗(yàn)中的測量更,，在擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模時(shí)做出更好的生產(chǎn)決策
- 更高的精度可以為其他流量設(shè)備的校準(zhǔn)提供更高的標(biāo)準(zhǔn)
分辨率的提高意味著更精細(xì)的控制：
- 生物反應(yīng)器，制藥,，激光等敏感應(yīng)用可以依賴Alicat來實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制,。
精度計(jì)算示例：
要使用新規(guī)范計(jì)算Alicat儀表的精度，您需要了解流量儀表的量程及其讀數(shù),。
假設(shè)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)的M系列質(zhì)量流量計(jì)的全量程為10 SLPM,，讀數(shù)為5 SLPM。對于標(biāo)準(zhǔn)精度規(guī)范,，16.7%的滿量程值是一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn),。當(dāng)讀數(shù)低于滿量程的16.7%時(shí)，用滿量程的0.1%來計(jì)算誤差更大一些,。當(dāng)讀數(shù)高于滿量程的16.7%時(shí),，用讀數(shù)值的0.6%來計(jì)算誤差更大一些。由于5SLPM的流量高于滿量程的16.7%,，故精度計(jì)算基于流量的實(shí)際讀數(shù)：
精度= ±0.6%的讀數(shù)值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM
如果流量讀書低于滿量程的16.7%,，如0.5SLPM，此時(shí)精度計(jì)算是基于滿量程值：
精度= ±0.1% 的滿量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM
對于高精度規(guī)范,，轉(zhuǎn)折點(diǎn)是滿量程的20%,。采用前一個(gè)例子來計(jì)算，結(jié)果如下：
讀數(shù)為5SLPM時(shí),，精度= ±0.5% 的讀數(shù)值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM
讀數(shù)為0.5SLPM時(shí),，精度= ±0.1% 的滿量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM
圖二 新版本較老版本精度提升比例
實(shí)用術(shù)語：
滿量程：設(shè)備大的校準(zhǔn)讀數(shù)。對于雙向流設(shè)備,，請參閱相關(guān)規(guī)范表以了解完整的規(guī)格說明,。
分辨率： 讀取/控制變量的小位數(shù)。
% Rd: 取決于實(shí)際讀數(shù)值的精度指標(biāo),，與滿量程無關(guān),。用該數(shù)值乘以實(shí)際讀數(shù)值就能得到在某一特定讀數(shù)時(shí)的精度。
% F.S.: 取決于滿量程值的精度指標(biāo)，與實(shí)際讀數(shù)值無關(guān),。用該數(shù)值乘以設(shè)備校準(zhǔn)的滿量程值就能得到特定設(shè)備的精度,。注意：雙向流設(shè)備可能具有不同的滿量程值，詳細(xì)信息請參閱各個(gè)規(guī)格表,。