光學(xué)顯微鏡
它是在1590年由荷蘭的詹森父子所首創(chuàng)。光學(xué)顯微鏡可把物體放大1600倍,,分辨的最小極限達(dá)0.1微米,。光學(xué)顯微鏡的種類(lèi)很多,,除一般的外,,主要有暗視野顯微鏡一種具有暗視野聚光鏡,從而使照明的光束不從中央部分射入,,而從四周射向標(biāo)本的顯微鏡.熒光顯微鏡以紫外線(xiàn)為光源,,使被照射的物體發(fā)出熒光的顯微鏡。結(jié)構(gòu)為:目鏡,,鏡筒,,轉(zhuǎn)換器,物鏡,,載物臺(tái),,通光孔,遮光器,,壓片夾,,反光鏡,鏡座,,粗準(zhǔn)焦螺旋,,細(xì)準(zhǔn)焦螺旋,鏡臂,,鏡柱,。
暗視野顯微鏡
暗視野顯微鏡由于不將透明光射入直接觀(guān)察系統(tǒng),無(wú)物體時(shí),,視野暗黑,,不可能觀(guān)察到任何物體,當(dāng)有物體時(shí),,以物體衍射回的光與散射光等在暗的背景中明亮可見(jiàn),。在暗視野觀(guān)察物體,照明光大部分被折回,,由于物體(標(biāo)本)所在的位置結(jié)構(gòu),,厚度不同,光的散射性,,折光等都有很大的變化,。
相位差顯微鏡
相位差顯微鏡的結(jié)構(gòu): 相位差顯微鏡,是應(yīng)用相位差法的顯微鏡,。因此,,比通常的顯微鏡要增加下列附件:
(1) 裝有相位板(相位環(huán)形板)的物鏡,相位差物鏡,。
(2) 附有相位環(huán)(環(huán)形縫板)的聚光鏡,,相位差聚光鏡。
(3) 單色濾光鏡-(綠),。
各種元件的性能說(shuō)明
(1) 相位板使直接光的相位移動(dòng) 90°,,并且吸收減弱光的強(qiáng)度,在物鏡后焦平面的適當(dāng)位置裝置相位板,,相位板必須確保亮度,,為使衍射光的影響少一些,相位板做成環(huán)形狀,。
(2) 相位環(huán)(環(huán)狀光圈)是根據(jù)每種物鏡的倍率,,而有大小不同,可用轉(zhuǎn)盤(pán)器更換,。
(3) 單色濾光鏡系用中心波長(zhǎng)546nm(毫微米)的綠色濾光鏡,。通常是用單色濾光鏡入觀(guān)察。相位板用特定的波長(zhǎng),,移動(dòng)90°看直接光的相位,。當(dāng)需要特定波長(zhǎng)時(shí),,必須選擇適當(dāng)?shù)臑V光鏡,濾光鏡插入后對(duì)比度就提高,。此外,,相位環(huán)形縫的中心,必須調(diào)整到正確方位后方能操作,,對(duì)中望遠(yuǎn)鏡就是起這個(gè)作用部件,。
視頻顯微鏡
將傳統(tǒng)的顯微鏡與攝象系統(tǒng),顯示器或者電腦相結(jié)合,,達(dá)到對(duì)被測(cè)物體的放大觀(guān)察的目的,。最早的雛形應(yīng)該是相機(jī)型顯微鏡,將顯微鏡下得到的圖像通過(guò)小孔成象的原理,,投影到感光照片上,,從而得到圖片?;蛘咧苯訉⒄障鄼C(jī)與顯微鏡對(duì)接,,拍攝圖片。隨著CCD攝像機(jī)的興起,,顯微鏡可以通過(guò)其將實(shí)時(shí)圖像轉(zhuǎn)移到電視機(jī)或者監(jiān)視器上,,直接觀(guān)察,同時(shí)也可以通過(guò)相機(jī)拍攝,。80年代中期,,隨著數(shù)碼產(chǎn)業(yè)以及電腦業(yè)的發(fā)展,顯微鏡的功能也通過(guò)它們得到提升,,使其向著更簡(jiǎn)便更容易操作的方面發(fā)展,。到了90年代末,半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,,晶圓要求顯微鏡可以帶來(lái)更加配合的功能,,硬件與軟件的結(jié)合,智能化,,人性化,,使顯微鏡在工業(yè)上有了更大的發(fā)展。
隨著CMOS鏡頭技術(shù)在顯微鏡領(lǐng)域應(yīng)用的成熟,,及數(shù)碼輸出技術(shù)的發(fā)展,,其市面上的視頻顯微鏡,不僅有通過(guò)PC機(jī)來(lái)顯示顯微圖片的視頻顯微鏡,,還有顯微鏡本身有獨(dú)立屏幕的視頻顯微鏡,,例如3R的MSV35;有可通過(guò)無(wú)線(xiàn)傳輸方式可移動(dòng)的無(wú)線(xiàn)視頻顯微鏡,其都脫離了PC機(jī)的顯示,,例如3R的WM401TV,、WM601TV,,且其CMOS鏡頭的顯微鏡其大小要比傳統(tǒng)的顯微鏡更加精巧,可應(yīng)用于現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行顯微觀(guān)測(cè),。
熒光顯微鏡
在螢光顯微鏡上,,必須在標(biāo)本的照明光中,,選擇出特定波長(zhǎng)的激發(fā)光,,以產(chǎn)生熒光,然后必須在激發(fā)光和熒光混合的光線(xiàn)中,,單把熒光分離出來(lái)以供觀(guān)察,。因此,在選擇特定波長(zhǎng)中,,濾光鏡系統(tǒng),,成為極其重要的角色。
熒光顯微鏡原理:
(A) 光源:光源輻射出各種波長(zhǎng)的光(以紫外至紅外),。
(B) 激勵(lì)濾光源:透過(guò)能使標(biāo)本產(chǎn)生螢光的特定波長(zhǎng)的光,,同時(shí)阻擋對(duì)激發(fā)螢光無(wú)用的光。
(C) 熒光標(biāo)本:一般用熒光色素染色,。
(D) 阻擋濾光鏡:阻擋掉沒(méi)有被標(biāo)本吸收的激發(fā)光有選擇地透射熒光,,在熒光中也有部分波長(zhǎng)被選擇透過(guò)。 以紫外線(xiàn)為光源,,使被照射的物體發(fā)出熒光的顯微鏡,。電子顯微鏡是在1931年在德國(guó)柏林由克諾爾和哈羅斯卡首先裝配完成的。這種顯微鏡用高速電子束代替光束,。由于電子流的波長(zhǎng)比光波短得多,,所以電子顯微鏡的放大倍數(shù)可達(dá)80萬(wàn)倍,分辨的最小極限達(dá)0.2納米,。1963年開(kāi)始使用的掃描電子顯微鏡更可使人看到物體表面的微小結(jié)構(gòu),。
顯微鏡被用來(lái)放大微小物體的圖像。一般應(yīng)用于對(duì)生物,、醫(yī)藥,、微觀(guān)粒子等觀(guān)測(cè)。
(1)利用微微動(dòng)載物臺(tái)之移動(dòng),,配合全目鏡之十字座標(biāo)線(xiàn),,作長(zhǎng)度量測(cè)。
(2)利用旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)與目鏡下端之游標(biāo)微分角度盤(pán),,配合全目鏡之十字座標(biāo)線(xiàn),,作角度量測(cè),令待測(cè)角一端對(duì)準(zhǔn)十字線(xiàn)與之重合,,然后再讓另一端也重合,。
(3)利用標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)螺紋的節(jié)距,、節(jié)徑、外徑,、牙角及牙形等尺寸或外形,。
(4)檢驗(yàn)金相表面的晶粒狀況。
(5)檢驗(yàn)工件加工表面的情況,。
(6)檢測(cè)微小工件的尺寸或輪廓是否與標(biāo)準(zhǔn)片相符,。