化學(xué)芯片開封機(jī)可設(shè)定不同的試驗(yàn)條件
化學(xué)芯片開封機(jī)是給芯片做外科手術(shù),通過開封我們可以直觀的觀察芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu),開封后可以結(jié)合OM分析判斷樣品現(xiàn)狀和可能產(chǎn)生的原因,??刹捎秒p酸刻蝕,并利用負(fù)壓噴霧技術(shù)進(jìn)行刻蝕,。根據(jù)不同的器件封裝材料和尺寸,,可設(shè)定不同的試驗(yàn)條件,進(jìn)行定位刻蝕,。
化學(xué)芯片開封機(jī)主要可設(shè)置的試驗(yàn)參數(shù)包括:
采用刻蝕酸的種 類,、刻蝕酸的比例、蝕刻溫度,、蝕刻時(shí)間、酸的流量(酸的用量),、清洗的時(shí)間等,。同時(shí)采取漩渦噴酸的方式,可大 大降低用酸量,,從而能夠比較地去除掉芯片表面的封裝材料,,達(dá)到較好的開封效果。根據(jù)器件的不同封裝形式,, 可選取不同封裝開口模具,,可控制開口的位置和大小,目前配有的開口模具有多種,,基本滿足目前的封裝需要,,如 適用 DIP/SIP,PLCC,,OFP,,PBGA,芯片倒裝 BGA 和 S0 小外型封裝,。
Decap即開封,,也稱開蓋,開帽,,指給完整封裝的IC局部腐蝕,,使得IC可以暴露出來,同時(shí)保持芯片功能的完整無損, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead不受損傷, 為下一步芯片失效分析實(shí)驗(yàn)做準(zhǔn)備,,方便觀察或做其他測試(如FIB,EMMI),,Decap后功能正常。
失效分析是對所有檢驗(yàn),、篩選,、以及在電子系統(tǒng)上失效的元器件進(jìn)行的以檢測元器件(或半產(chǎn)品)不能正常工作(失去某種功能)原因?yàn)槟康牡囊幌盗性囼?yàn)。失效分析是在發(fā)現(xiàn)元器件失效后進(jìn)行的查找原因的過程,是以判別責(zé)任或改進(jìn)工藝為目的,。