產品簡介
GD-70D傳感器類型有ESU(定電位電解式),、SGU(半導體式)、SSU(熱分解粒子式),、OSU(原電池式),、NCU(新陶瓷式)
詳細介紹
日本理研進口HBrHCLHF氣體檢測器
顯示內容 | 氣體濃度、流量大小,、通訊狀態(tài),、熱分解器狀態(tài)、檢測氣體名稱,、故障代碼,、故障內容 |
自 檢 | 系統(tǒng)故障、傳感器故障,、流量故障,、通訊故障 |
數據下載 | 事件歷史、報警歷史,、校正歷史,、報警趨勢曲線(一段報警前后180秒) |
工作環(huán)境 | 電源DC24V±10%;0~40℃,,30~70%RH無凝結 |
尺寸重量 | 70(W)×120(H)×150(D)mm,,0.9kg |
優(yōu)勢特點 | 對應所有檢測方式的公共平臺(主機單元、傳感器單元,、泵單元),;通用主機單元(兼容所有傳感器類型),;多功能傳感器單元(新型智能傳感器);主機單元內部無氣管/泵單元無線圈,;在前面開蓋拆裝/無需工具/易于更換傳感器單元和泵單元,;不同通訊方式可選(4-20mA,NT,,PoE),;現有單元升級簡單;小的維護成本,;環(huán)保,符合標準,。 |
典型應用 | 半導體,、液晶、太陽能電池等微電子制造工廠,,特種氣體生產,、運輸、儲存,、使用等場合 |
日本理研進口HBrHCLHF氣體檢測器
GD-70D傳感器類型有ESU(定電位電解式),、SGU(半導體式)、SSU(熱分解粒子式),、OSU(原電池式),、NCU(新陶瓷式),檢測氣體及量程如下:
OSU:O2,,0~25%vol
NCU:CH4,、H2、i-C4H10,,0~*LEL
SSU:TEOS,、TMS、TRIMOS,,0~15ppm
SGU:H2,,0~500/1000/2000ppm;CH4,、C3H8,,0~2000/5000ppm;CH3OH,,0~1000/2000ppm,;C2H2Cl2,0~600ppm,;CH2Cl2,、CH3CHOHCH3,、R-32、R-41,、COS,,0~2000ppm
ESU:NH3,0~75ppm,;AsH3,,0~0.2ppm;Br2,,0~1ppm,;CO,0~75/150/300ppm,;Cl2,,0~1.5/3ppm;ClF3,,0~0.6ppm,;B2H6,0~0.3ppm,;Si2H6,,0~15ppm;(CH3)2NH,,0~15ppm,;(CH3CH2)2NH,0~15ppm,;F2,,0~3ppm;GeH4,,0~0.8ppm,;HBr,0~6/9ppm,;HCl,,0~6/15ppm;HF,,0~3/9ppm,;H2Se,0~0.2ppm,;CH3NH2,,0~15ppm;NO,,0~100ppm,;NO2,,0~15ppm;NF3,,0~30ppm,;O3,0~0.6ppm,;PH3,,0~1ppm;SiH4,,0~15ppm,;SO2,0~6ppm,;(CH3)3N,,0~15ppm;SbCl5,、AsCl5,、AsCl3,、BCl3,、SiH2Cl2、GeCl4,、MoCl5,、POCl3、PCl5,、PCl3,、SiCl4、SnCl4,、SiHCl3,、WCl6,0~6/15ppm,;AsF5,、AsF3、BF3,、MoF6,、PF5、SiF4,、SF4,、WF6,0~3/9ppm,;BBr3,,0~6/9ppm
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