東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹
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1.在G1?G2接觸子間放入微動臺,。
2.先移動G1接觸子,、控制部指示値為行程量的一半時
(-210~-220μm)固定接觸子,。
3.然后移動G2接觸子,、控制部指示値為0μm時固定接觸子。
?。矗优_朝返回方向返回100μm(-100μm),、確認控制部 指示値。
5.微動臺至進給原位置(零位置),、確認控制部 指示値為0μm〔注1〕,。
6.微動臺在進給方向進給100μm(+100μm),、確認控制部指示値,。
7.微動臺回到原位置(零位置)、確認控制部指示値為0μm〔注1〕,。
?。福?/span>0μm→-100μm的指示値與0μm→+100μm的指示値不超過1.5μm。
9.0μm→-100μm的指示値與0μm→+100μm的指示値的差超過1.5μm時需再調(diào)整,、重復(fù)[1.]~[8.]的作業(yè),。不超過時進行接下來的檢查。
〔注1〕 微動臺在原位置(零位置)時,、控制部指示値不為0μm時,、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔4.〕~〔6.〕的作業(yè)。
※ 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量(別紙),。