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真空度測(cè)量?jī)x的測(cè)試原理介紹
真空度測(cè)量?jī)x,，又叫真空開(kāi)關(guān)真空測(cè)試儀，采用磁控管放電法測(cè)量,，真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩個(gè)觸頭在一定距離打開(kāi),，施加電場(chǎng)脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管線圈或新的電磁線圈置于滅弧室外面,，并將大電流連接到線圈上,，從而產(chǎn)生與滅弧室內(nèi)高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣,，在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下,，滅弧室內(nèi)的帶電離子螺旋運(yùn)動(dòng)，與殘余氣體分子碰撞電離,。產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體的密度（即真空度）近似成正比,。對(duì)于不同類(lèi)型的真空管(管型)，在相同的接觸距離,、相同的真空度,、相同的電場(chǎng)和磁場(chǎng)條件下,，離子電流的大小因其結(jié)構(gòu)的不同而不同。真空度與離子電流的對(duì)應(yīng)曲線可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)標(biāo)定,。在測(cè)量離子電流時(shí),，可以通過(guò)查詢離子電流-真空隙曲線來(lái)獲得管的真空度。
為了提高常規(guī)磁控管放電試驗(yàn)對(duì)滅弧室真空度的靈敏度,，必須將滅弧室從斷路器上拆下,，放入電磁管中。這樣一來(lái),，滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參數(shù),，工作量很大并需專業(yè)人員而使用新型磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室,，采用單片機(jī)進(jìn)行同步控制和數(shù)據(jù)采集與處理,，提高了滅弧室真空的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。
真空度測(cè)量?jī)x將滅弧室的兩個(gè)觸點(diǎn)拉開(kāi)一定距離,，施加脈沖高壓,，使電磁線圈在滅弧室外線圈周?chē)源箅娏魍ㄟ^(guò)，產(chǎn)生同步的脈沖磁場(chǎng),。滅弧室內(nèi)的高壓,。在脈沖磁場(chǎng)的作用下，滅弧室內(nèi)的電子相互螺旋運(yùn)動(dòng),。殘余氣體分子碰撞電離產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體的密度（即真空度）近似成正比,。在相同真空度下，不同真空管的離子電流大小不同,。在測(cè)量離子電流時(shí),，利用計(jì)算機(jī)自動(dòng)計(jì)算真空度，并顯示真空度值,。