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ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理,。X射線熒光光譜儀通?？煞譃閮纱箢悾ㄩL色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF),，波長色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源,、分光晶體和測角儀、探測器等,，而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測器和相關(guān)電子與控制部件,，相對簡單。

 

波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線,，根據(jù)Bragg定律,，通過測定角度，即可獲得待測元素的諧線波長:

 

nλ=2dsina0(n=1.2.3...)

 

式中,，入為分析譜線波長;d為晶體的晶格間距;0為衍射角;n為衍射級次,。利用測角儀可以測得分析譜線的行射角，利用上式可以計算相應(yīng)被分析元素的波長,，從而獲得待測元素的特征信息,。

 

能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器，通過測定由探測器收集到的電荷量,，直接獲得被測元素發(fā)出的特征射線能量,。

 

Q=kE

 

式中，K為入射射線的光子能量;Q為探測器產(chǎn)生的相應(yīng)電荷量;K為不同類型能量探測器的響應(yīng)參數(shù),。電荷量與入射射線能量成正比,，故通過測定電荷量可得到待測元素的特征信息。

 

待測元素的特征譜線需要采用一定的激發(fā)源才能獲得,。目前常規(guī)采用的激發(fā)源主要有射線光管和同位素激發(fā)源等,。

 

為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外,，還必須采用一定的樣品制備技術(shù),，并對獲得的強度進行相關(guān)的譜分析和數(shù)據(jù)處。