原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,，分別投射到樣品表面和參考鏡表面,。從兩個(gè)表面反射的兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋,。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置計(jì)算出被測樣品的相對(duì)高度，從而得到樣品表面的三維尺寸信息,。如下圖所示,。

白光干涉儀的優(yōu)點(diǎn)

非接觸式測量，不損傷樣品,；

測試效率高,，幾秒鐘成像，自動(dòng)分析結(jié)果,；

高度方向分辨率高,，在不同物鏡下均可達(dá)0.1nm，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的測量,；

優(yōu)異的重復(fù)性,；

分析功能強(qiáng)大,，簡便易用；

優(yōu)異的擴(kuò)展性,。

白光干涉儀的作用

可以進(jìn)行膜厚測量,，溝槽測量，翹曲分析,，表面粗糙度測量,，表面高度及盲孔測量，樣品表面圖案尺寸測量等,。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,，光學(xué)器件，太陽能電池,，MEMS,，生命科學(xué)，材料學(xué)等行業(yè),。

布魯克白光干涉儀介紹

WYKO白光干涉儀誕生于1982年,，2010年加入布魯克,，與布魯克強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,，經(jīng)過40多年技術(shù)不斷發(fā)展及革新，布魯克白光干涉儀已經(jīng)逐步在行業(yè)中內(nèi)有良好口碑,。且：

3項(xiàng) 美國R&D 100 大獎(jiǎng)

6項(xiàng) Photonics Circle of Excellence Awards大獎(jiǎng)

根據(jù)不同的應(yīng)用場景及樣品情況,，布魯克有以下等多個(gè)型號(hào)供用戶選擇：

ContourX-100                                ContourX-200

ContourX-500                             ContourX-1000   

NPFLEX-1000                                    ContourSP

應(yīng)用及效果

布魯克白光干涉儀的應(yīng)用及效果

表面粗糙度測量

表面高度測量

表面高度及盲孔測量

溝槽自動(dòng)分析

三維實(shí)時(shí)測量

表面翹曲測量

軟件界面分析

       布魯克白光干涉儀因其操作簡便，分辨率及重復(fù)性良好,，軟件分析功能強(qiáng)大,，且售后服務(wù)專業(yè)及時(shí)等優(yōu)點(diǎn)，從而成為形貌測量工程師的選擇,，并被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體,，光學(xué)器件，太陽能,，微電子,，材料學(xué)等各個(gè)行業(yè)。