MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備：光譜共焦傳感器結(jié)構(gòu)

光譜共焦位移傳感器是一種通過(guò)光學(xué)色散原  理建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，利用光譜    儀解碼光譜信息,，從而獲得位置信息的裝置,。

在光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中，

系統(tǒng)的測(cè)量范圍受4個(gè)方面的因素影晌：

1. 光源光譜分布范圍

2. 色散鏡頭在工作波段范圍內(nèi)的軸向色差

3. 光譜儀的工作波段

4. 光纖耦合器的工作波段

光譜共焦優(yōu)勢(shì)

多功能光譜共焦傳感器

我們的光潛共焦傳感器通過(guò)高品質(zhì)光學(xué)鏡頭沿汜光軸在不同距離而非單個(gè)點(diǎn)上聚焦白光,，所有的可見(jiàn)光波段都 在焦點(diǎn)上,。這種多功能的光學(xué)傳感器為測(cè)雯技術(shù)開(kāi)辟了新的維度。

·任何材料都可測(cè)試- 非透明/ 透明材料,，漫反射/ 反射,， 吸收，彩色,，粗糙/ 拋光

·同軸測(cè)試避免了陰影的影響

·斜面接受度和數(shù)值孔徑使得可測(cè)量角度在反 射表面可達(dá) 45° , 漫射率表面> 80°

· Z 軸分辨率和精度- 無(wú)需 Z 軸掃描獲取測(cè)試 結(jié)果,，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都可傳遞一個(gè)測(cè)試值

·超快測(cè)試速度的多點(diǎn)線陣傳感器允許多點(diǎn)平行測(cè)試

·小且恒定的光斑尺寸可實(shí)現(xiàn)高的橫向分辨率

·光學(xué)探頭被動(dòng)，無(wú)需移動(dòng)任何部件或者嵌入電

路- 可保證高的熱穩(wěn)定性,，長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和重復(fù)性

測(cè)量方式對(duì)比

數(shù)碼類顯微鏡

- 表面形貌需要做景深疊加,，速度慢 - 視野小

- 掃描精度取決于Z軸電機(jī)和物鏡景深

激光共聚焦類顯微鏡

- 表面形貌需要逐層掃描，速度慢 - 視野小

- 人為數(shù)據(jù)量測(cè)

三角反射型類光譜共焦

- Z軸分辨率更低

- 掃描易出現(xiàn)盲區(qū)

- 透明材質(zhì)和鏡面材質(zhì)效果不佳

白光干涉

- 使用及維護(hù)成本高

- 不適合較大的樣品和起伏比較大的樣品

- 對(duì)表面比較粗糙的樣品效果不佳

MTS優(yōu)勢(shì)

 非接觸式無(wú)損測(cè)量

 最高20nm的Z軸分辨率 

 無(wú)需景深疊加速度更快

 樣品表面反射率不受限制 

 提供表面三維全部信息

 可自定義掃描區(qū)域

 可接入Q-DTS

 可接入西勵(lì)牛油果AI

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備技術(shù)參數(shù)

①2kHz以上,，測(cè)試量程隨頻率增加而降低

②20° C時(shí)垂直鏡面測(cè)量

所給數(shù)據(jù)來(lái)源于典型應(yīng)用中的測(cè)試，與其他特定情況的測(cè)試會(huì)有差異,。后續(xù)印刷錯(cuò)誤,，修訂，更新也會(huì)造成與表格中所列技術(shù)參數(shù)的不同,。因此,，不保證表格中此產(chǎn)品所給技術(shù)參數(shù)，測(cè)量結(jié)果和信息的一致性,。