X射線熒光光譜分析作為一種快速,、簡便且無損的檢測技術(shù)，在眾多行業(yè)的元素分析領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用,，但其儀器的名稱應(yīng)該是EDS,，XRF還是EDX呢？
EDS是能譜儀（Energy Dispersive Spectrometer）的英文縮寫,，通常用于配合掃描電子顯微鏡,，是電子束微束分析技術(shù)中應(yīng)用極為廣泛的儀器,。但因其英文縮寫與能量色散型X射線熒光光譜儀（EDX) 頗為相似且同樣用于材料的元素含量分析，故二者容易被混淆,。
XRF是X射線熒光光譜儀（X-Ray Fluorescence Spectrometer）的英文縮寫,。而EDX或（EDXRF)是X射線熒光光譜儀XRF分類中的一種。那么,，XRF究竟又有哪些分類呢,？
我們熟知光的能量和波長之間有一個基本的關(guān)系用如下公式表達(dá)：
E=h×C/λ
所以XRF在區(qū)分不同元素的特征光時可依據(jù)波長的不同或者能量的不同，前者稱為波長色散X熒光光譜儀（Wavelength Dispersive XRF）,，后者稱為能量色散X熒光光譜儀（Energy Dispersive XRF）,。
圖1 WDXRF & EDXRF結(jié)構(gòu)示意圖
從圖1對比可知：
WDXRF的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，造價昂貴,，使用維護(hù)成本也更高
WDXRF產(chǎn)品與同級EDXRF相比,，具有檢出限（LOD）更低、分辨率更好,、精密度更高和分析時間更短的優(yōu)勢
近年來,，EDXRF技術(shù)和應(yīng)用取得了驚人的進(jìn)步，EDXRF緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計避免了X射線熒光的強(qiáng)度損失,，在高性能硅漂移探測器的超高計數(shù)率和分辨率的加持下保證了ppm濃度的檢測能力
根據(jù)激發(fā)方式的不同可細(xì)分為直接激發(fā),、聚束毛細(xì)管透鏡微束和偏振光等，不同的激發(fā)方式可針對不同的應(yīng)用和不同的元素提高激發(fā)效率,，如圖2中將偏振光運用到XRF中可最da程度地過濾背景信號,，提高峰背比，改善如熒光產(chǎn)額較低的輕元素的激發(fā)效果,。
圖2 EDXRF的偏振光
3
上照式為X射線管在分析試樣的上方,，X射線由上向下照射試樣；下照式則與之相反,。
上照式儀器因X射線管,、檢測器等主要部件在試樣上方，樣品的破損不會污染主要部件,，當(dāng)然試樣離X射線管的距離需要定位或配合進(jìn)樣裝置,。
而下照式儀器的結(jié)構(gòu)更加有利于空間的利用，對于粉末壓片,、疏松粉末和液體樣品帶來的可能的污染也有防護(hù)設(shè)計加以規(guī)避,。
按便攜性分類
前文提到EDXRF結(jié)構(gòu)簡單，因此除了臺式,，EDXRF還可針對有現(xiàn)場測試需求的應(yīng)用場景設(shè)計得更為小巧,，在保證分析性能的同時兼顧便捷性。
05
按應(yīng)用方向分類
XRF技術(shù)成熟,，尤其EDXRF近年來發(fā)展迅速,，在眾多行業(yè)的元素分析中都有成熟應(yīng)用,，因此業(yè)內(nèi)也常以儀器的應(yīng)用方向冠以名稱。
如在電子電氣行業(yè)針對ROHS的國標(biāo)GB/T39560中X射線熒光光譜法就作為篩選方法,，EDX1800B型EDXRF因其配備小焦點光斑和攝像頭定位功能特別適合電子電氣行業(yè)的不規(guī)則小樣品等也常被喚作RoHS 分析儀,；
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
8
立即詢價
您提交后,，專屬客服將第一時間為您服務(wù)