PFA清洗槽是專為半導(dǎo)體光伏光電等行業(yè)設(shè)計的,主要用于浸泡,、清洗帶芯片硅片電池片的花籃,。它能耐受清洗溶液的腐蝕性,同時金屬元素空白值低,,無溶出無析出,,不會污染芯片晶圓等。
半導(dǎo)體晶圓清洗槽尺寸可按要求定做??啥ㄖ婆涮咨w子,,防止污染
可用于硅片生產(chǎn)過程中裝載超凈高純試劑的運輸、貯存槽罐,,材料采用PTFE,、PFA等高潔凈、耐腐蝕材料,。
產(chǎn)品特點:
1,、外觀半透明,易觀察槽內(nèi)試劑情況,;
2,、耐高低溫:-200~+260℃
3、耐腐蝕:耐強酸,、強堿,、王水、氫fu酸和各種有機溶劑,;
4,、耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關(guān),;
5,、防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb,;
6,、低的溶出和析出,不會污染芯片,、晶圓,、硅片等,;
8,、化學(xué)性能穩(wěn)定,可恢復(fù)性好,,不易變形,;
9.特氟龍塑料,經(jīng)久耐用,,不易碎