日立掃描電鏡具有景深大,、圖像立體感強(qiáng),、放大倍數(shù)范圍大、連續(xù)可調(diào),、分辨率高,、樣品室空間大且樣品制備簡單等特點(diǎn)，是進(jìn)行樣品表面研究的有效分析工具,。所需的加速電壓比透射電鏡要低得多,，一般約在1~30kV，實(shí)驗(yàn)時(shí)可根據(jù)被分析樣品的性質(zhì)適當(dāng)?shù)剡x擇,，常用的加速電壓約在20kV左右,。
日立掃描電鏡的圖像放大倍數(shù)在一定范圍內(nèi)（幾十倍到幾十萬倍）可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)整，放大倍數(shù)等于熒光屏上顯示的圖像橫向長度與電子束在樣品上橫向掃描的實(shí)際長度之比,。掃電子光學(xué)系統(tǒng)與透射電鏡有所不同,，其作用僅僅是為了提供掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源,。其常使用的是二次電子信號(hào)和背散射電子信號(hào),，前者用于顯示表面形貌襯度，后者用于顯示原子序數(shù)襯度,。
消像散,、對(duì)焦是日立掃描電鏡操作中基本的要求，在進(jìn)行圖像觀察時(shí)要時(shí)刻保持合焦和無像散的狀態(tài),。
對(duì)焦相對(duì)容易，改變焦距,，直至圖像清楚的時(shí)刻即為合焦,。在偏離焦距較多的時(shí)候可以用較高的靈敏度，在合焦點(diǎn)附近調(diào)低靈敏度,，以便進(jìn)行準(zhǔn)確對(duì)焦,。
消像散相對(duì)來說比較麻煩，特別是像散很大時(shí),，對(duì)于很多初學(xué)者來說調(diào)節(jié)比較困難,。電子束由于不再是圓形，所以在像散未消除的情況下，圖像是不清晰的,。不過其中有兩個(gè)特殊的位置,，即光學(xué)中的子午和弧矢，在這兩個(gè)位置上束斑*成正交的直線,，而明晰圓一般在弧矢和子午的中間,。
所以反映在圖像上，改變焦距的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)兩個(gè)嚴(yán)重的拉伸,，拉伸方向可能因樣品而不同,，但是這兩個(gè)拉伸方向一定正交。所以此時(shí)將焦距調(diào)節(jié)至兩個(gè)拉伸明顯狀態(tài)的中間位置,，基本固定焦距,。然后在此焦距下，進(jìn)行消像散線圈的調(diào)節(jié),，先調(diào)X或Y中的一個(gè)維度,，待圖像達(dá)到清楚后再調(diào)節(jié)另一個(gè)維度。
有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難,，試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據(jù),，尤其在像散比較大時(shí)，不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調(diào)一氣,，以免像散過大而*無從判斷,。
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