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CVD鉆石培育配套氫氣發(fā)生器

憑借著在氣體分析,、生成和校準(zhǔn)領(lǐng)域擁有三十年的經(jīng)驗(yàn)，使我們能夠成立Leman Instruments SAS,，這是一家專門從事固體,、液體和氣體分析所涉及的科學(xué)設(shè)備模塊研發(fā)，生產(chǎn)和銷售的公司,。公司主要生產(chǎn)地位于法國(guó)阿爾尚地區(qū),。主要產(chǎn)品包括實(shí)驗(yàn)室氮?dú)獍l(fā)生器，氫氣發(fā)生器,，氧氣發(fā)生器,，零級(jí)空氣發(fā)生器等。

百瑞科技（南京）有限公司是一家專注于為醫(yī)療實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域提供各類氣體發(fā)生器（包括氮?dú)獍l(fā)生器,，氫氣發(fā)生器,，零級(jí)空氣發(fā)生器等），真空泵以及壓縮空氣成套設(shè)備解決方案的企業(yè),。公司先后與ekom醫(yī)療實(shí)驗(yàn)室壓縮機(jī)生產(chǎn)商,，意大利Werther,，奧地利Metasys牙科設(shè)備制造商，以及丹麥flairmo,，德國(guó)INMATEC,，俄羅斯GRASYS，法國(guó)Leman Instruments等國(guó)外實(shí)驗(yàn)室氣體發(fā)生器廠商機(jī)氣體分離系統(tǒng)廠商達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議,。公司代理銷售的氣體發(fā)生器,，氮?dú)獍l(fā)生器，氫氣發(fā)生器,，零級(jí)空氣發(fā)生氣,，牙科正負(fù)壓系統(tǒng)，空壓機(jī)成套設(shè)備以及后處理設(shè)備均滿足各種環(huán)境下的嚴(yán)苛需求,，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石化,，制藥，電子行業(yè),、以及各類實(shí)驗(yàn)室等,。產(chǎn)品包括ekom dk50系列無(wú)油空壓機(jī)，metasys hybrid系列牙科負(fù)壓抽吸泵,，flairmo實(shí)驗(yàn)室氮?dú)獍l(fā)生器等等,，廣泛用于醫(yī)院，實(shí)驗(yàn)室,，食品行業(yè)等,。

在CVD的工藝中，需要一種穩(wěn)定可靠的方法來(lái)供應(yīng)超高純度的氫氣,。

使用氫氣發(fā)生器代替鋼瓶或其他方式運(yùn)輸?shù)臍錃饪杀苊庠阢@石合成過(guò)程中氫氣突然耗盡的問(wèn)題,，并且氫氣發(fā)生器還具有更多的安全優(yōu)勢(shì)，同時(shí)可以幫客戶節(jié)省長(zhǎng)期的用氣成本,。

氫氣鋼瓶中的氫氣的含水量高于CVD工藝所要求的數(shù)值,。因此，氫氣鋼瓶中的氫氣需要進(jìn)一步干燥才可使用,，常用的方法是使用鈀凈化器,。

我們可以把鈀凈化器看作是一種非滲透膜，上面只能吸附和解吸氫離子,。那么只要非滲透膜完好無(wú)損,，系統(tǒng)中沒有任何泄漏，氫氣的純度就可以得到保證,。因此需要定期測(cè)試鈀膜完整性,，常用的方法是使用高真空，并檢查真空狀態(tài)是否可保持，或用氦氣對(duì)系統(tǒng)加壓以檢查泄漏,。

但當(dāng)使用鈀膜凈化氫氣時(shí),，需要關(guān)注到的一個(gè)問(wèn)題是“氫脆"。在某些條件下,，留在金屬中的氫離子會(huì)導(dǎo)致鈀脆裂。這是進(jìn)行真空泄漏測(cè)試或氦氣加壓測(cè)試的主要原因之一,。同時(shí),，保持真空可去除鈀中吸收的氫離子，以避免氫脆,。

若不使用鈀膜凈化,，其他的干燥技術(shù)同樣也可以產(chǎn)生超高純度的氫氣，例如,，Leman Instruments 氫氣發(fā)生器采用PSA凈化技術(shù)生產(chǎn)的超高純氫氣,，具有ppb水平含量的微量氧氣和水分，而不存在“氫脆"對(duì)鈀凈化器造成損害這樣的風(fēng)險(xiǎn),，避免了因?yàn)殁Z膜損壞而導(dǎo)致的高昂的維護(hù)費(fèi)用,。

當(dāng)然，PSA凈化技術(shù)也不需要進(jìn)行真空泄漏測(cè)試,，因?yàn)镻SA技術(shù)相對(duì)于鈀凈化器來(lái)說(shuō)是一種“滲透膜",，因此真空測(cè)試并不適用，若進(jìn)行真空測(cè)試,，則可能會(huì)失敗,，用戶可能需要更改其驗(yàn)證方法,。然而,，明顯的優(yōu)勢(shì)是，PSA通常具有更高的可靠性,，若發(fā)生故障,，PSA凈化技術(shù)的維修成本也更低,。

結(jié)論

PSA凈化技術(shù)可應(yīng)用到發(fā)生器中為CVD工藝提供超高純度氫氣，從而避免使用鈀膜凈化技術(shù)的缺點(diǎn),。

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