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| 應用領域 | 環(huán)保,農業(yè),地礦,印刷包裝 |
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SQ2Micro 減壓閥用于需要在狹小空間內進行精確壓力控制的UHP超高純使用點場合。提供提供優(yōu)良的可靠性和泄漏完整性,，使其成為關鍵半導體操作的理想選擇
產品簡介
詳細介紹
派克PARKER膜片減壓閥產品描述：
派克Veriflo 產品組的SQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv) 是市場上*的微型超高純減壓閥,。這個系列提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質量流量控制器）性能，這對半導體生產的重復性和產量至關重要,。這個系列同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄漏完整性和低粒子生成性,，減少了半導體行業(yè)的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流需求變化提供出色響應,。這個系列利用自動定心束縛膜片提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調節(jié),。沒有閥芯彈簧和閥座螺紋，顆粒產生與截留有效減少,，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能,。
SQ2Micro系列接液部件由特殊金屬加工制成，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性,。閥體內部材料為電拋光Vericlean™ 316L不銹鋼. Vericlean™ 是派克超高純級不銹鋼,。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料結合SQ2Micro系列的設計特點,，使得SQ2Micro系列耐腐蝕性強和循環(huán)壽命長,，入口壓力可高至250 psig.
SQ2Micro和 SQ2Micro130E是具有相同間距的小型Veriflo量子閥.A型閥體帶有內部面密封低壓接口，安裝壓力表和傳感器,。SMSQ2Micro系列用于表面貼裝.
SQ2Micro系列減壓閥內部(閥座)密封和外部金屬密封通過氦泄漏測試,，使用質譜儀以獲得其在苛刻的超高壓領域性能和穩(wěn)定性.
派克PARKER膜片減壓閥特點和優(yōu)勢:
• 低粒子數(shù)
• 束縛膜片有效減少接液區(qū)域彈簧，提高安全性
• SMSQ2Micro Cv=0.06, SMSQ2Micro130E Cv=0.15
• 出口壓力范圍: -10 psig - 60 psig
• 內漏率: ≤ 5 x 10-8 scc/sec標準立方厘米/秒 He
• 外漏率: ≤ 2 x 10-10 scc/sec標準立方厘米/秒 He
• 5 微英寸 (Ra粗糙度) 電拋光表面處理
• 工作溫度范圍: -40°F - +150° F (-40°C - +66°C)
派克PARKER膜片減壓閥應用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)
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