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日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)

閱讀：363        發(fā)布時間：2019-8-21

簡要描述：

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)
同步檢驗(yàn)表面形狀,、背面形狀和平整度,！
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn),、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置,。邊緣排除區(qū)小1mm,，可進(jìn)行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn),。

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)

同步檢驗(yàn)表面形狀,、背面形狀和平整度！

NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn),、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置,。邊緣排除區(qū)小1mm，可進(jìn)行盒至盒的高精度自動測量,。評價項目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn),。

特點(diǎn)

  • 平整度測量例

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  • 邊緣排除區(qū)1mm

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  • 邊緣排除區(qū)3mm

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  • 放射狀測量數(shù)據(jù)

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  • 邊緣滾降分析

nanometro_TT_feature_005.gif

  • 邊緣鳥瞰圖、截面圖

nanometro_TT_feature_006.gif

 

＜Edge Roll-off分析＞
根據(jù)表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結(jié)果,，提供符合客戶需求的分析軟件,。

性能、規(guī)格

項目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程φ300mmφ200mm
顯示分辨率1nm
測頭非接觸激光位移計
測量方式縱向旋轉(zhuǎn)方式

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)

產(chǎn)品按照標(biāo)準(zhǔn)和生產(chǎn),，產(chǎn)品可滿足用于石化、電廠等行業(yè),，同時根據(jù)不同的產(chǎn)品也適用于其他行業(yè),，改進(jìn)和擴(kuò)大提高了自己的產(chǎn)品供給，公司生產(chǎn)的測量系統(tǒng),，受到了本國和國內(nèi)外客戶以及市場的青睞,，*設(shè)計，壽命超長，性能穩(wěn)定,，密封性強(qiáng),，精密鑄造，外觀精美,。性質(zhì)穩(wěn)質(zhì),，包裝優(yōu)良。

 伊里德代理工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)等產(chǎn)品,，價格合理,，使用范圍廣，部分常規(guī)型號有現(xiàn)貨,。如需采購可咨詢,。我將竭誠為您服務(wù)。請您詢問時請備注貴公司營業(yè)執(zhí)照抬頭,、連系方式,；您需要的品牌型號數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序時間給您回復(fù)報價,，歡迎惠顧,！

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