heidenhain海德漢光柵尺

光柵尺,，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器）,，是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測,。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大,，檢測精度高,，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,，在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用,。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,，分為透射光柵和反射光柵。

光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上,，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中,。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu),。

封閉式光柵尺能有效防塵,、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機(jī)床的理想選擇,。

敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機(jī)械接觸,。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測量機(jī)、比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備,，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中,。

增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn),，開機(jī)時必須執(zhí)行參考點(diǎn)回零,，操作非常簡單、快捷,。

heidenhain海德漢光柵尺

規(guī)模    唇6001    測量標(biāo)準(zhǔn)*   線膨脹系數(shù)
Zerodur玻璃陶瓷上的光學(xué)杜爾相位光柵,；光柵周期8微米
αtherm=（0±0.1）x 10–6 K–1（Zerodur玻璃陶瓷）
αtherm≈8 x 10–6 k–1（玻璃）
精度等級*  ±1μm（僅適用于測量長度1020 m m以下的Zerodur玻璃陶瓷）；±3μm
基線誤差   ≤±0.175微米/5毫米
測量長度ml*
在毫米20 30 50 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570
620 670 720 770 820 870 920 970 1020 1140 1240 1340

1440 1540 1640 1840 2040 2240 2640 2840 3040
參考標(biāo)記
一個在測量長度的中點(diǎn)
質(zhì)量  1.1g+0.11g/mm測量長度
掃描頭  唇608  唇607
界面    1 VPP    TTL1）
信號周期
-4μm      5倍的  0.8μm     10倍     0.4μm  25倍  0.16μm  50倍
0.08μp   100倍  0.04μm    500倍  0.008μm
截止頻率–3 dB    1兆赫以上
掃描頻率 小于312.5千赫  小于312.5千赫  小于156.25千赫  小于250千赫  小于125千赫
小于62.5千赫 小于125千赫 小于62.5千赫  小于31.25千赫  小于62.5千赫  小于31.25千赫
小于15.63千赫 小于12.5千赫 小于6.25千赫 小于3.13千赫
邊緣分離A  heidenhain 海德漢 光柵尺
0.135±  s0.07  ±s0.135  ±s0.03  ±s0.07 ±s 0.135±s
橫移速度2）
小于240米/分鐘小于75米/分鐘小于75米/分鐘小于37米/分鐘小于60米/分鐘小于30米/分鐘
小于15米/分鐘小于30米/分鐘小于15米/分鐘小于7.5米/分鐘小于15米/分鐘小于7.5米/分鐘
小于3.7米/分鐘小于3米/分鐘小于1.5米/分鐘小于0.75米/分鐘
插值誤差
位置噪聲rms±4 nm0.4牛米（1 mhz3）
電氣連接*
左/右和直/成角度的電纜插座
1個VPP：電纜,，0.5 m,、1 m或3 m，D-Sub連接器（公）15針
TTL：電纜,，0.5米或1米,，帶15針D-Sub連接器（公）
電纜長度
海登海恩電纜：歸航，限值：≤10米,，僅增量：≤20米,；
在使用PWM 21進(jìn)行信號調(diào)整時：≤3 m
電壓供應(yīng)  直流5伏±0.5伏電流消耗
小于150毫安  ≤250 mA（無負(fù)載）
振動55赫茲至2000赫茲
沖擊6毫秒
≤500 m/s2（IEC 60 068-2-6）  ≤1000 m/s2（IEC 60 068-2-27）
工作溫度
–10°C至70°C
質(zhì)量
掃描頭  heidenhain海德漢伺服放大器
連接器
連接電纜
約5 g（無電纜）
AK LIP 608≈71克；AK LIP 607≈74克
 

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