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海德漢直線光柵尺
海德漢直線光柵尺工作與技術
敞開式直線 光柵尺 2007年5月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測量直線軸位置時不存在任何 敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測 機械結構 附加的機械傳動元件,。因此，它能消除以 量的機床和系統(tǒng),。典型應用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵 下潛在誤差源： • 半導體工業(yè)的測量和生產設備 尺和掃描頭,，光柵尺和掃描頭間無機械 • PCB電路板組裝機 接觸。 • 由于滾珠絲杠溫度特性導致的位置誤差 • 超精密機床,，例如加工光學元件的金剛 • 反向誤差 石刀具車床,，加工磁盤的端面車床和加 敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安 • 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差 工鐵氧體元件的磨床 裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光 • 高精度機床 柵尺精度,。 因此,，直線光柵尺已成為高精度定位和高 • 測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精 速加工*的*條件,。 密測量設備 • 直接驅動 其它樣本還有 • 帶內置軸承角度編碼器 • 無內置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版,，所有以前 • 旋轉編碼器 版本均不再有效。訂購HEIDENHAIN公 • 伺服驅動用編碼器 司的產品僅以訂購時有效的樣本為準,。 • NC數控機床用直線光柵尺 • 接口電子設備 有關相應的適用標準（ISO,，EN等）， • HEIDENHAIN數控系統(tǒng) 請見樣本中的特別標注,。 歡迎索取,，或訪問 。 目錄 概要 敞開式直線光柵尺 2 選型指南 4 技術特點 測量原理 測量基準 6 增量測量法 7 光電掃描 8 測量精度 10 可靠
技術信息 直線光柵尺在真空技術中的應用 “真空”是指全空的空間,，無空氣也無任何其它氣體,。 根據真空的純度，通常將真空分為低真空,、中等真空,、高度真空或超高真空。 真空技術在許多現代化生產和科研中發(fā)揮著重要作用,。真空技術是電子工業(yè)和生物技術,，薄膜沉積技術，新材料開發(fā),，醫(yī)藥以及化學分 析*的技術,。 真空應用對零部件提出嚴格的要求，當然也影響到定位應用的編碼器,。海德漢針對高真空和超高真空應用特別設計的直線光柵尺能滿足 這些要求,，措施包括： • 適應真空應用的PCB，黏膠和漆料,，以減少氣體析出 • 通氣的空腔,，縮短抽真空時間 • 耐高溫,，支持較高的加熱溫度 • 無磁鐵材料，提高過程可靠性 • 超凈車間生產,，確保高清潔程度 真空等級 真空 壓力,， 高度， 平均自由行程,， 時間,， 當空氣被排出封閉的空間，空氣將變得稀 單位mbar 單位km 單位m 單位s 薄,，結果是壓力降低：產生真空,。封閉的 空間中的空氣量越少，即壓力越小,，真空 海拔高度 兩個氣體分子無碰撞 顆粒覆蓋表面的時間 度越高,。真空度分為四級?？諝鈮毫Φ陀?1 mbar是低真空,；空氣壓力低于1 bar是中 +3 –5 –5 低 10 至1 < 50 < 10 < 10 等真空。真空度低于0.001 mbar為高真空,， 達到或低于0.000 000 1 mbar為超高真空,。 –3 –5 – 1 –5 -2 中等 1至10 50至100 10 至10 10 至10 真空應用 -3 -7 -1 +3 -2 +2 如果一個封閉的空間中不允許任何異物,， 高 10 至10 100至500 10 至10 10 至10 沒有空氣,，因此也沒有任何懸浮顆粒，就 -7 +3 必須是真空環(huán)境,。有些情況需要在真空中 超高 < 10 > 500 > 10 > 100 進行尺寸測量,，例如需要檢查亞微米級的 超精細結構或需要切分和檢查顆粒時。直 線光柵尺和角度編碼器在真空中的常見應 用包括電子顯微鏡,、機械手,、多路執(zhí)行器、 XY工作臺,、電子束顯微鏡,，半導體工業(yè)的 圓晶檢查或測量同步加速器輻射的光譜儀 軸。 2015年5月 真空應用對編碼器的要求 通常在低真空和中等真空應用中,，可用海 德漢的標準編碼器,，工作溫度有一定限 制。高真空或超高真空應用的光柵尺需要 滿足一些特殊要求,。 少量氣體逸出 真空應用中,，必須盡可能減少氣體的逸 出，否則真空室的壓力將顯著升高,。超高 真空應用中,，所有部件都十分關鍵,。例如， 部分塑料件的揮發(fā)性溶劑會逸出,。印刷電 路板,、黏膠或漆料中都含這類塑料，在超 真空應用中,，必須嚴格避免這些材料,。海 德漢采用的PCB和黏膠能滿足真空應用要 求。常用的漆料也用滿足真空應用要求的 材料取代,。在超真空應用中,，必須盡可能 壓縮零部件數量—接口和脈沖整形電子電 路必須在真空室外。為此,，海德漢提供配 外部接口硬件的編碼器,。對于高真空應用， 方法之一是將接口硬件安排在真空室內,。 空腔的正確通風 要產生真空,，必須排出封閉空間內的空氣。 獲得所需低壓的時間被稱為“抽真空時 間”,，該時間應盡可能短,，以使真空系統(tǒng) 盡快開始工作。如果空腔中的空氣能很快 逸出,，就能縮短抽真空的時間,。為此，海 德漢編碼器外殼增加了空氣孔數量,，打開 盲孔的螺紋孔,，通氣孔直接打通到空腔 中。 無鐵磁材料 根據真空腔中進行的操作,，編碼器中的部 分材料可能不允許使用,。鐵磁材料不允許 用在檢查微電子電路的電子束顯微鏡中。 為此,，海德漢真空應用的編碼器無磁性材 料,。 耐高溫 為縮短抽真空時間和獲得較高真空度，真 空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度,。
敞開式直線光柵尺 2016年4月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測量直線軸位置,，測量期間沒 敞開式直線光柵尺設計用于超高測量精度 機械結構 有任何其它機械傳動件。因此,，它能消除 的機器和系統(tǒng),。典型應用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 以下潛在誤差源： • 半導體工業(yè)的測量和生產設備 帶和讀數頭，光柵尺和讀數頭間無機械接 • 滾珠絲杠溫度特性導致的定位誤差 • PCB電路板組裝機 觸,。 • 反向誤差 • 超精密機床,，例如加工光學器件的金剛 敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 • 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差 石刀具,，加工磁盤的端面車床和加工鐵 面上。因此,，安裝面的平面度是高精度直 氧體元件的磨床 線光柵尺應用的基礎條件,。 因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加 • 高精度機床 工機床*的基礎技術手段,。 • 測量機和比較儀,、測量顯微鏡和其它精 密測量設備 • 直驅電機 以下信息 • 內置軸承角度編碼器 • 無內置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有 • 模塊式磁柵角度編碼器 以前版本均不再有效,。 • 旋轉編碼器 訂購海德漢公司的產品僅以訂購時 • 伺服驅動編碼器 海德漢編碼器接口樣本,，ID 1078628- 有效的樣本為準。 • NC數控機床用直線光柵尺 xx,，提供全部可用接口的全面說明和一 • 接口電子電路 般電氣信息,。 本產品遵循的標準（ISO，EN等）,， • 海德漢數控系統(tǒng) 請見樣本中的標注,。 歡迎索取，或訪問 ,。 目錄 概要 敞開式直線光柵尺 2 選型指南 ?4 技術特點 測量原理 8 可靠性 12 測量精度 14 機械結構類型和裝配 17 一般機械信息 21 技術參數 式位置測量 LIC?4113,，LIC?4193
產品圖：
LB382C光柵尺的安裝說明 目錄 光柵尺的組成 安裝附件 安裝步驟 注意事項 變換電纜的出線方向 參考點的位置與設定 外形尺寸（標準型） 外形尺寸（鏡像型） 安裝公差---要特別注意 安裝外殼 安裝外殼 安裝外殼 安裝外殼 安裝導軌鋼帶 安裝標尺鋼帶 穿標尺鋼帶 預緊鋼帶 固定鋼帶及貼標簽 穿密封條 固定密封條 安裝讀數頭 固定密封條 （端蓋E1) 檢查接地電阻---不能省缺 拉緊鋼帶---計算拉緊量---重要! 拉緊鋼帶 ---固定鋼帶 線性補償---激光干涉儀檢測 光柵尺的防護---DA300 技術參數 電氣連接圖---LB302 輸出信號---LB302 電氣連接圖---LB382C 輸出信號----LB382C Chen dong LB382C光柵尺的安裝說明
直線光柵尺 用于NC數控機床 2007年6月 更多信息，請訪問 或來函索取,。 產品樣本： • 敞開式直線光柵尺 • 內置軸承角度編碼器 • 無內置軸承角度編碼器 • 旋轉編碼器 • HEIDENHAIN后續(xù)電子設備 • HEIDENHAIN數控系統(tǒng) • 機床檢測和驗收測試測量系統(tǒng) 本樣本是以前樣本的替代版,，所有以前 版本均不再有效。訂購HEIDENHAIN公 技術信息樣本： 司的產品僅以訂購時有效的樣本為準,。 • 進給軸精度 • 單場掃描封閉式直線光柵尺 有關相應的適用標準（ISO,，EN等）， DIADUR和AURODUR是德國Traunreut處 • EnDat 2.2－位置編碼器雙向數字接口 請見樣本中的特別標注,。 的DR. JOHANNES HEIDENHAIN公司的注 • 伺服驅動用編碼器 冊商標。 2 目錄 概要 直線光柵尺 4 選型指南 6 技術特性和安裝信息 測量原理 測量基準 8 測量法 8 增量測量法 9 光電掃描 10 測量精度 12 機械結構類型和安裝指南 14 一般機械信息 18 技術參數 定位用途的 直線光柵尺 系列或型號 推薦測量步距 用于位置測量 至0.1 μm LC 400系列 20 LC 100系列 22 高重復性的增量直線測量 至0.1 μm LF 481 24 LF 183 26 用于
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